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無油真空泵常見應用領域

2014-5-19  閱讀(4070)

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無油真空泵常見應用領域
產品說明:
         無油真空泵又名無油干式真空泵,,屬于干式真空泵,,(又簡稱干式機械泵)
從上一次的峰會,,到近日的國家兩會,,走在提出:低碳,、環(huán)保,。節(jié)能的環(huán)保理念。油潤滑真空泵的使用會排出一定的二氧化碳和廢氣,。在真空行業(yè)中,,我們都建議使用干式泵
工作原理
         
無油真空泵由定子、轉子,、旋片,、缸體、電機等主要零件組成,。帶有旋片的轉子,,偏心地安裝在定缸內,當轉子高速旋轉時,,轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室,,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,,把定子進排出口分離開來,,周而復始運轉,進行變容,,將吸入氣體,,從排氣口排出,從而達到抽氣目的
無油真空泵常見應用領域:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,;
2)半導體刻蝕工藝,。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,;
4)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥,、脫泡、包裝等,,要防止有機溶劑造成污染,,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,,以防止油污染,。

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     BKV-140V/H,、BKV-180V/H,、BKV-200V/H  BKV-230V/H
     BKV-0010、BKV0021,、BKV0025,、BKV0040、BKV0063,、BKV0100,、BKV0160、BKV0202,、BKV0250,、BKV0302、BKV0305 ,、BKV1-P-V-**,、BKV3-P-V-**、BKV5-P-V-**,、BKV6-P-V-**、BKV7A-P-V-** ,。更多型號請我司,。

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