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質(zhì)譜分析儀一般選用的真空泵是愛德華 E2M0.7,、E2M1.5 這2款型號,，真空泵使用到一定的時間要
做保養(yǎng)與維修,。真空泵維修必須由接受過適當培訓的技術(shù)員來維護，確認該技術(shù)員對泵油及系統(tǒng)的
產(chǎn)物十分熟悉,，做維護之前必須將泵停下,，降到安全的溫度，斷開泵及其他元件與電路的連接,，以
避免發(fā)生意外,。維護完畢，在沒接上電源之前,，重新檢查一下泵的旋轉(zhuǎn)方向,。O型圈和墊圈如果損
壞不可重復利用。
在運轉(zhuǎn)過程中,，質(zhì)譜真空泵和油會受到化學品的污染,。所以，應確認泵是否清洗干凈,，并采取足夠
的措施防止這些有害物質(zhì)對人員的傷害,，維護完畢后，應檢查是否有泄露的地方,，如有,，應重新密
封。不要接觸或吸入泵受高溫(260℃)產(chǎn)生的熱降解的產(chǎn)物,，它們是很危險的,，包括油、油脂和真
空脂,。
檢查前置真空泵油位：
根據(jù)需要,，可以在泵運轉(zhuǎn)的時候檢查油位，但如果要往里加油時則需斷開前置真空泵及相關(guān)部件與
電源的連接,。
1.透過前置真空泵的可視窗口檢查油位是否在z*低限以上,，z*高限以下,。
2.如果油位在z*低限或低于z*低限，打開加油孔,，加油至z*高限,，如加得過滿可從出口放掉點。
3.如果油污染嚴重時,，放掉受污染的油,，清洗泵后加入干凈的油。
更換前置真空泵油：
1.開啟泵運轉(zhuǎn)10分鐘以加熱泵油,，然后關(guān)泵(油加熱后可降低其粘性,，比較容易倒出來)。
2.斷開泵和電路及真空系統(tǒng)的連接,。
3.取下加油孔的塞子,。
4.將泵放在一個適當?shù)闹挝?如：凳子)上以方便泵的傾斜，在排油口下放合適的容器,。取下排油
口的塞子,，讓油在重力的作用下流到容器中。
5.油受到污染時：
5.1取下加油孔的塞子,，倒進干凈的油,。
5.2重新連上泵和電路的連接，開泵運轉(zhuǎn)5-10分鐘,。
5.3斷開泵和電路的連接,，取下排油口的塞子，讓油流出來,。
5.4重復上述步驟直到將泵清洗干凈,。
6.塞上排油口的塞子，移掉支撐物,，重新接上泵和電路及真空系統(tǒng)的連接 ,。
7.裝上新油，直到油位達到MAX位置附近,。
8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的話,，可再添油(需再關(guān)泵),。塞上加油孔的塞子。
檢查和清潔前置真空泵入口過濾器
1.旋開入口轉(zhuǎn)接器,，取下‘O’ ring,，彈性擋圈和入口過濾器。
2.用適當?shù)娜芤呵逑慈肟谶^濾器,，陰干入口過濾器,。
3.重新裝上入口過濾器,、彈性擋圈、‘O’ring和入口轉(zhuǎn)接器,。
清潔前置真空泵載氣濾網(wǎng)：
1.取下固定墊圈,。
2.取下金屬絲網(wǎng)及濾頭元件。
3.用合適的溶劑清洗金屬絲網(wǎng)及濾頭元件,，陰干后重新裝在泵上,。
4.重新固定好固定墊圈。
清洗馬達風扇周圍：
1.關(guān)掉真空泵,，斷開其與電源的連接,。
2.利用干的布或毛刷清除電動機的風扇罩和圍欄的污染物。
注意:
如果電動機的風扇罩及周圍不保持干凈的話,，進入馬達的氣流將受到限制從而導致泵過熱,。
