聯(lián)系電話
東莞比其爾真空機(jī)電設(shè)備有限公司
中級會員·13年
- 聯(lián)系人：
- 饒小姐
- 電話：
- 0769-8321-6362
- 手機(jī)：
- 18024411156
- 售后：
- 13711807380微信同號
- 傳真：
- 0769-8287-6360
- 地址：
- 廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)坑口紅荔路179號
- 個性化：
- www.dgpyzkb.com
- 手機(jī)站：
- m.dgpyzkb.com
- 網(wǎng)址：
- www.dgpyzkb.com/
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
真空系統(tǒng)用泵的選擇方法,？
真空系統(tǒng)是由真空泵,、PLC程序控制系統(tǒng),、儲氣罐、真空管道,、真空閥門,、境外過濾總成等組成的成套
真空系統(tǒng)。目前,，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè),、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè),。
例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣,，要求在1 mbar入口壓力時有600升/秒的抽速，并長期工作,，問
應(yīng)選擇多大抽速的前級泵,。
先假定用30升/秒的前級泵時，壓縮比K=600：30=20得出K=20時zui大排出壓力為30 mbar,。
由此得出,，當(dāng)選用30升/秒前級泵時，在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,，但高于1.5 mbar
入口壓力工作時就選用大一些前級泵了。該例中,，工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,，所以30升/秒的
前級泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。
另外應(yīng)當(dāng)考慮的是,，對預(yù)抽時間的要求問題,，如果正常工作時間遠(yuǎn)比預(yù)抽時間長，可選較小的前級泵;
假如真空室較大,，而且要求很快預(yù)抽,，就要用較大的前級泵，有時為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,，機(jī)組裝
有較大的預(yù)抽泵,，在正常工作后停掉它，而用較小的前級泵維持,，這樣做是為了節(jié)約功率,。
對羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵的必須考慮的,，對極限真空度要求較高(達(dá)
1X10-3Pa～1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機(jī)械泵或雙級滑閥機(jī)械泵作為前級泵,。極限真空
度要求在(1X10-2 Pa～1X10-1Pa)之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前級泵，極限真空度要求在133～
1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵,。
當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時,，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-
1/4,，不能太大，否則將使壓縮比過大,，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作,。
選用前級泵時還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體,，是大量的還是微量
的,。如果含有腐蝕性氣體，就不能選用油封機(jī)械泵,，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的
氣體,，否則將會使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時,，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的
油封機(jī)械泵作為前級泵,。
為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率，可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的
前級泵組成的三級或四級機(jī)組,，此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間,。
