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Diener 等離子表面處理儀 ATTO
  • Diener 等離子表面處理儀 ATTO

貨物所在地:上海上海市

更新時間:2024-08-26 09:07:03

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Diener 等離子表面處理儀 ATTO特點
· 低壓等離子系統(tǒng),,用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,,實現(xiàn)控制高機能

· 10.5L腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院、高校,、研發(fā)中心使用

· 8" Wafer去膠清洗

Diener 等離子表面處理儀 ATTO

特點

· 低壓等離子系統(tǒng),,用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式,實現(xiàn)控制高機能

· 10.5L腔體可處理多種樣品

· 適合于研究院,、高校,、研發(fā)中心使用

· 8" Wafer去膠清洗

Diener 等離子表面處理儀 ATTO技術(shù)規(guī)格:

型號

ATTO

ATTO PCCE

控制系統(tǒng)

手動控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路氣體

工藝氣體

O2Ar,,N2,,CO2H2,,Air

單體導(dǎo)入

H2O等單體(選配)

流量計

針閥流量計

MFC流量計

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃腔體,,蓋子門帶觀察窗(石英,鉸鏈門選配)

內(nèi)尺寸(Dia.×D)

211×300mm

容積

10.5L

電極

360度外置環(huán)繞電極

發(fā)生器*


40KHz     0~200 W

13.56MHz  0~50 W

13.56MHz  0~300 W

真空壓力計

指針式壓力計(選購)

皮拉尼數(shù)字式壓力計

計時器

旋鈕式(選購)

數(shù)字式

托盤

高硼硅玻璃(石英選配)W200xD260xH5mm

外形尺寸(WXDxHmm

525x450xD450

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度8m3/H

上海爾迪儀器科技有限公司是一家代理經(jīng)銷國內(nèi)外儀器的專業(yè)公司,。秉承“銷售*儀器,、提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)"的宗旨,在制藥,、化工,、環(huán)保、科研,、大學(xué),、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域開拓了廣泛的市場,并贏得了廣大用戶的支持和信賴,。爾迪在今后的發(fā)展中,,將貫徹誠信、服務(wù),、務(wù)實,、創(chuàng)新的經(jīng)營理念,一如既往地把國內(nèi)外優(yōu)秀的儀器設(shè)備介紹并提供給國內(nèi)的用戶,。孜孜追求,,不懈努力,不斷提高服務(wù)水平,,為提升用戶的檢測水平和科研水平貢獻各自的綿薄之力,,與廣大用戶共同享受科技成果,在互利協(xié)作中共同進步,。


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