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bruker納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試,，測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線計(jì)算得出,，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積 .

主要應(yīng)用

納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度,、蠕變,、彈性功、塑性功,、斷裂韌性,、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞,、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性,。可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī),、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD,、CVD,、PECVD薄膜，感光薄膜,，彩繪釉漆,，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜,，保護(hù)性薄膜,，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,，包括金屬、合金,、半導(dǎo)體,、玻璃、礦物和有機(jī)材料等,。

技術(shù)特點(diǎn)

1,、符合ISO14577,、ASTME2546；

2,、光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察,；

3、熱漂移控制技術(shù),；

4,、可硬度、剛度,、彈性模量,、斷裂剛度、失效點(diǎn),、應(yīng)力－應(yīng)變,、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù)；

5,、適時(shí)測(cè)量載荷大?。?/span>

6,、采用載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器,；

7、快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng),；

8,、雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石 。

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