FTIR傅里葉紅外在硅材料分析中的應用

用于超高靈敏度硅材料質量控制分析的分析儀

CryoSAS 是一款低溫硅材料分析儀,，可用于太陽 能和電子硅行業(yè)的超高靈敏度質量控制。它可以同時定量分析碳,、氧以及淺層雜質（如硼,、磷、砷等）,。

根據(jù)ASTM/SEMI標 準,，CryoSAS操作簡便，無需液氦等制冷劑,。相比于傳統(tǒng)的濕 化學分析法,，CryoSAS更為快速、靈敏,，并且對樣品沒有任何 損害,。

• ·對單晶硅中所含的第三、五族雜質（硼,、磷,、砷、鋁,、鎵,、銻） 的定量分析，檢出限達ppta量級,。

• ·多晶或單晶硅中代位碳的定量分析,，檢出限達ppba量級。 

• ·多晶或單晶硅中間隙氧的定量分析,，檢出限達ppba量級,。 

• ·全自動檢測流程，自動分析數(shù)據(jù),、自動生成檢測報告,。

用于硅材料質量控制的低溫光致發(fā)光實驗

根據(jù)ASTM/SEMI MF1389標準，低溫近紅外光致發(fā)光（PL）實驗可以用于單晶硅中淺層雜質（如硼,、磷等）的定量分析,。

我們將高靈敏度VERTEX 80 傅立葉變換光譜儀和專為硅材料低溫光致發(fā)光實驗 設計的低溫恒溫器相結合，實現(xiàn)了低檢出限小于1ppta的超高檢出水平,。

• 根據(jù) ASTM/SEMI MF1389標準,，定量分析單晶硅中的硼、磷和鋁含量,。 用CVD方法制備的TCS（三氯硅烷）硅外延層也可進行PL實驗,，以實現(xiàn)TCS的質量控制。

• 多種附加功能,，如自動控制恒溫器制冷,、專用的PL硅材料QC軟件、標準建模樣品和第二個激 發(fā)激光,。