等離子體和固體,、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài),。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子,、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等,。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性,、光刻膠灰化等目的,。
清洗原理：
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài),、液態(tài),、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,，如地球大氣中電離層中的物質(zhì),。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子,、分子,、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子,、分子,；未反應(yīng)的分子、原子等,，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài),。
在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗目的,。
優(yōu)勢(shì)：
一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序,。可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率,；
二,、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題,；
三,、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法,。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性,；
四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同,。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀,。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五,、使用等離子清洗,，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn),。
真空等離子清洗機(jī)用途：
·適用6寸以下樣品的處理
·用于硅片、玻璃,、塑膠材料表面的處理
·配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
·桌上型，省空間
·適合于研究院,、高校,、研發(fā)中心使用
特點(diǎn)：
表面清洗活化
表面蝕刻
可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類和處理程序,；不會(huì)對(duì)操作人員的身體造成任何傷害,；其成本對(duì)于等離子處理方法來說是微不足道的。
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