——多模態(tài)臨界尺寸測(cè)量和薄膜計(jì)量學(xué)
FilmTekTM CD光學(xué)臨界尺寸系統(tǒng)是我們解決方案，可用于1x nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)及更高級(jí)別的全自動(dòng)化,、高通量CD測(cè)量和高級(jí)薄膜分析,。該系統(tǒng)同時(shí)提供已知和*未知結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)多層堆疊特性和CD測(cè)量。
FilmTek CD利用多模測(cè)量技術(shù)來滿足與開發(fā)和生產(chǎn)中復(fù)雜的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)特征相關(guān)的挑戰(zhàn)性需求,。這項(xiàng)技術(shù)能夠測(cè)量極小的線寬,，在低于10納米的范圍內(nèi)進(jìn)行高精度測(cè)量。
依賴傳統(tǒng)橢圓偏振儀或反射儀技術(shù)的現(xiàn)有計(jì)量工具在實(shí)時(shí)準(zhǔn)確解析CD測(cè)量的能力方面受到限制,，需要在設(shè)備研究和開發(fā)期間生成繁瑣的庫(kù),。FilmTek CD通過獲得多模態(tài)測(cè)量技術(shù)克服了這一限制，該技術(shù)甚至為*未知的結(jié)構(gòu)提供了單一解決方案,。
FilmTek CD包括具有快速、實(shí)時(shí)優(yōu)化功能的專有衍射軟件,。實(shí)時(shí)優(yōu)化允許用戶以小的設(shè)置時(shí)間和配方開發(fā)輕松測(cè)量未知結(jié)構(gòu),，同時(shí)避免與庫(kù)生成相關(guān)的延遲和復(fù)雜度。
測(cè)量能力：
·厚度,、折射率和光盤計(jì)量
·未知薄膜的光學(xué)常數(shù)表征
·超薄膜疊層厚度
·廣泛的關(guān)鍵尺寸測(cè)量應(yīng)用,，包括金屬柵極凹槽,、高k凹槽、側(cè)壁角,、抗蝕劑高度,、硬掩模高度、溝槽和接觸輪廓以及間距行走
Bruker FilmTek CD橢偏儀在爾迪儀器有售,，如有需要可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司,！
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