等離子去膠機(jī)是在(RIE)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的基礎(chǔ)上簡化改進(jìn)而來,，為小型等離子去膠機(jī),，具有體積小，性能優(yōu)良,、用途多,、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好,、價格低,、使用方便等特點(diǎn)。是各電子器件企業(yè)及科研單位,、大專院校的機(jī)型,。
等離子去膠機(jī)主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看,，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài),；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相,；反應(yīng)殘余物脫離表面,。
等離子去膠機(jī)的工作原理：
在真空狀態(tài)下，使得氣體產(chǎn)生活性等離子體,，以此,，在物理,、化學(xué)雙重作用下對清洗的部件如砷化鎵,、氮化鎵等進(jìn)行表面的轟擊，將表面要去掉的物質(zhì)變成了離子或者氣體,，然后利用真空泵將這些清洗出來的物質(zhì)抽離出去,，從而達(dá)到清洗目的。等離子去膠的好壞直接決定了成品率的高低,，等離子去膠工藝主要是半導(dǎo)體單片掃膠,、掃底膜工藝、元器件封裝前,、芯片制造等行業(yè)中,。
等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),，它廣泛存在于宇宙中,，常被視為是除去固、液,、氣外,，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導(dǎo)電體,，利用經(jīng)過巧妙設(shè)計的磁場可以捕捉,、移動和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料,、能源,、信息、環(huán)境空間,，空間物理,，地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提新的技術(shù)和工藝。
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