臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器 ,。根據(jù)使用傳感器的不同,，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種,。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
·操作簡(jiǎn)易,，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過(guò)程控制。
·能夠在微電子,，半導(dǎo)體,，太陽(yáng)能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）,、醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測(cè)量。
·測(cè)量精度較高,、量程大,、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好
·可以作為其它形貌測(cè)量技術(shù)的比對(duì)
主要應(yīng)用范圍：
·大學(xué),、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
·半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
·LED：發(fā)光二極管
·太陽(yáng)能
·MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
·數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
·汽車
·醫(yī)療設(shè)備
布魯克DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì),，可以提供重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4A,。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過(guò)去四十年 Dektak 技術(shù)創(chuàng)新,，更加鞏固了其行業(yè)地位,。通過(guò)整合其行業(yè)產(chǎn)品，DektakXT實(shí)現(xiàn)了高性能,。
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