光學(xué)元件在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用，對(duì)光學(xué)元件的表面加工精度提出越來(lái)越高的要求,。如何檢測(cè)光學(xué)元件的加工精度,，從而用于優(yōu)化加工方法，保證最終元器件的性能指標(biāo),，是光學(xué)元件加工領(lǐng)域的關(guān)鍵問題之一,。
光學(xué)元件的加工精度包括表面質(zhì)量和面型精度，這些參數(shù)會(huì)影響其對(duì)光信號(hào)的傳播,，進(jìn)而影響最終器件的性能,。
此外，各種新型光學(xué)元件也需要檢測(cè)其表面輪廓,，比如非球面,，衍射光學(xué)元件，微透鏡陣列等,。除了最終光學(xué)元件的加工精度以外,，各種光學(xué)元件加工工藝也需要檢測(cè)中間過程的三維形貌以保證最終產(chǎn)品的精度,，包括注塑、模壓的模具,，光學(xué)圖案轉(zhuǎn)印時(shí)的掩膜版,，刻蝕過程的圖案深度、寬度等,。
布魯克的三維光學(xué)顯微鏡配備的雙光源技術(shù),，同時(shí)實(shí)現(xiàn)白光干涉和相移干涉成像，適用于各種不同光學(xué)樣品,、模具的三維形貌測(cè)量,。在光學(xué)加工領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
· 設(shè)備可以用于光學(xué)元件表面質(zhì)量檢測(cè),，可以通過表面粗糙度,、表面斜率分布等判斷光學(xué)元件整體散射率，也可以統(tǒng)計(jì)局部的各種缺陷,。
· 設(shè)備還可以用于各種光學(xué)元件的面型分析,，除了手動(dòng)分析以外，軟件還提供了包括Zernike多項(xiàng)式擬合,、非球面分析等功能,。
· 由于該設(shè)備能準(zhǔn)確測(cè)量和分析光學(xué)元件，在多種先進(jìn)光學(xué)元件中得到廣泛應(yīng)用,，包括光柵,、菲涅爾透鏡和二元光學(xué)元件等衍射光學(xué)元件，以及微透鏡陣列等,。
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