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在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

①. 無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油,，非接觸,，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染,，可獲得清潔真空;

②. 抽氣量大——雙渦旋盤,，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源;

③. 抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元,，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,，泄漏低;

④. 非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低,，振動小;

⑤. 結(jié)構(gòu)簡單緊湊,，相同尺寸下，運動半徑小,，運行平穩(wěn);

⑥. 體積小,，維修方便，維護(hù)費用低;

⑦. 采用空氣冷卻,，無需水冷,。

無油渦旋真空泵應(yīng)用在

①. 半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;

②. 科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線,、電子顯微鏡,、分析測試儀器;

③. 機(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備,、真空檢測、材料提純設(shè)備;

④. 化學(xué)工業(yè);

⑤. 醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器,、透析機(jī),、生物制品與藥品制備;

⑥. 包裝行業(yè)——食品、藥品,、生物制品等包裝設(shè)備,。

無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：

①. 動靜渦旋盤付與基座;

②. 曲軸;

③. 密封墊;

④. 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu);

⑤.電機(jī)。