X射線熒光光譜儀（X-rayFluorescenceSpectrometer,，簡(jiǎn)稱(chēng)：XRF光譜儀），是一種快速的,、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法,。X射線熒光（X-rayfluorescence，XRF）是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線,。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析,，特別是在金屬，玻璃,，陶瓷和建材的調(diào)查和研究,，地球化學(xué)，法醫(yī)學(xué),，考古學(xué)和藝術(shù)品,，例如油畫(huà)和壁畫(huà),。
使用型態(tài)
XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品，樣品中的元素之內(nèi)層電子被擊出后,，造成核外電子的躍遷,，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時(shí)候，會(huì)放射出特征X光,；不同的元素會(huì)放射出各自的特征X光,，具有不同的能量或波長(zhǎng)特性。檢測(cè)器(Detector)接受這些X光,，儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對(duì)應(yīng)的信號(hào),。這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在研究金屬,，玻璃,，陶瓷和建筑材料，以及在地球化學(xué)研究,、法醫(yī)學(xué),、電子產(chǎn)品進(jìn)料品管（EURoHS）和考古學(xué)等領(lǐng)域，在某種程度上與原子吸收光譜儀互補(bǔ),，減少工廠附設(shè)的品管實(shí)驗(yàn)室之分析人力投入,。
X射線熒光的物理原理
當(dāng)材料暴露在短波長(zhǎng)X光檢查，或伽馬射線,，其組成原子可能發(fā)生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢(shì),，足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子,，然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，在外軌道的電子會(huì)“回補(bǔ)”進(jìn)入低軌道,，以填補(bǔ)遺留下來(lái)的洞,。在“回補(bǔ)”的過(guò)程會(huì)釋出多余的能源，光子能量是相等兩個(gè)軌道的能量差異的,。因此,，物質(zhì)放射出的輻射，這是原子的能量特性,。
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