Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品,，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復性,。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設計和全封閉工作站設計，具有易用的聯(lián)鎖門,，是當今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選,。其雙攝像頭架構(gòu)可增強空間感知能力，其高自動化水平可大限度地提高測試通量,。
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