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Savillex在半導體的應用上很棒棒

閱讀:1803      發(fā)布時間:2022-4-11
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      氟聚合物作為半導體制造業(yè)可容納和運輸制造過程中使用的高純度化學品的材料,,可實現(xiàn)半導體制造需要的*穩(wěn)定性和純度,近幾年隨著半導體行業(yè)的極速擴張,,氟聚合物制品在半導體行業(yè)的需求量也呈現(xiàn)井噴模式,。
通常使用的兩種特殊類型氟聚合物:聚四氟乙烯(PTFE)和可溶性聚四氟乙烯(PFA)。
由于PFA的分子結構允許熔融加工,,可通過注塑成型等傳統(tǒng)的單一工序工藝進行制造,,使得PFA制品的表面粗糙度幾乎無法測量,且成品不需要進行任何后道加工,,杜絕引入污染,。因此PFA比PTFE更能為半導體工藝化學品提供安全保障,更適用于半導體行業(yè),。
      Savillex的PFA系列商品種類豐富,質量穩(wěn)定可靠,,被各半導體制造及其支撐業(yè)企業(yè)選用,,應用于半導體制程的各個環(huán)節(jié),是高品質的保障,。


美國Savillex:開發(fā)優(yōu)秀的氟聚合物產品——無論在哪個應用領域,。


        美國Savillex自1976年成立以來,46年來目標始終如一:開發(fā)優(yōu)質的氟聚合物產品——無論在哪個應用領域,。


應用——制備高純強酸(HF,HCL,HNO3)用于濕法蝕刻工序及硅片生產工藝,、半導體制程高純化學品、各環(huán)節(jié)半成品及成品產品質量檢測,。                          
產品——Savillex DST系列酸純化器/亞沸蒸餾器            

型號——DST-1000 & DST-4000

特點——半導體硅片是半導體制造的核心材料,,                            
它的生產加工涉及精密拋光,、研磨、蝕刻,、清洗等工序,,
這個過程中需要用到一些高純度化學品,比如氫氟酸(HF),、氯化氫(HCI)等強酸,,使用Savillex的DST酸純化器進行酸提純是一種極其簡單和經濟的制備高純度酸的方法。使用DST-1000對微量金屬(1ppb)級原酸進行提純可以在12小時內制備約500ml高純HNO3,、HCL或HF,,而容量更高的半自動化DST-4000可以在同一時間內制備出約2倍的量。在短短幾個月基至幾周內即可收回購置成本,。購買市售高純(10ppt)酸不僅價格昂貴,,而且一旦開始使用,反復打開的過程中極易造成污染,。因此使用DST系列酸化器自制高純酸在得到質量更可靠的高純酸的同時,,還能為企業(yè)節(jié)約大量成本。

應用——VPD直連試劑瓶,,各類高純化學試劑長期儲存
產品——Savillex 150 Purillex系列PFA高純試劑瓶/儲液瓶
規(guī)格——50ml,、100ml、250ml,、500ml,、1000ml、2000ml
特點——Savillex 150 Purillex PFA高純試劑瓶由拉伸吹塑工藝制造,,極低的微量金屬背景,,表面無任何毛刺,無死
角,,易于傾倒,,最后一滴試劑都不浪費;完整的2.5轉螺紋及防滴漏瓶唇設計使其無需內蓋即能確保長期密封完整性,,可長期儲存各類高純試劑,。除50ml規(guī)格的為33mm直徑螺紋蓋,100-2000ml均為GL45標準螺紋口,,可與VPD直連,,可與各類分液器連用。每個試劑瓶出廠配備一個標準的GL45螺紋蓋,,通過選配不同的轉換蓋即可將試劑瓶集成在不同管路中,。
                                           

應用——VPD-ICP-MSICP-QMS樣品引入,半導體制程各類化學品,、半成品(如:三氯硅烷,、磷酸、高純硅樣品,、過氧化氫,、硝酸、鹽酸,、硫酸,、太陽能級硅塊、高硅基質樣品等)及硅片雜質檢測

產品——PFA霧化器,,PFA霧室,,PFA惰性套件,PFA自動進樣器小瓶
適用品牌——Agilent,、ESI,、CETEC、PE,、Nu……
特點——Savillex PFA 自吸式霧化器采用*的兩件式設計,,高靈敏度,可反吹設計有效防止堵塞,,延長使用壽命,。PFA C-Flow同心霧化器流量從35ul/min至700ul/min,可用于半導體使用的任何惰性套件,,不僅與Savillex的PFA霧室聯(lián)合,,還可與其它品牌的石英霧室聯(lián)用。流量為50ul/min的Savillex PFA霧化器尤其適用于高硅基質樣品(如VPD-ICP-MS應用)和磷酸,。Savillex PFA系列進樣產品可與多個設備連用,。尤其是Agilent PFA霧化器及惰性套件的替代。Savillex PFA自動進樣器小瓶從200ul至30ml,,PE,、Varian、I-AS,、CETAC,、ESI多品牌多型號自動進樣器用PFA小瓶,均有不同型號可替代,。Savillex PFA系列進樣系統(tǒng)是用戶性價比方面的planA

                             

應用——超高純氣液化流體輸送,,耐腐蝕管路集成
產品——PFA閥門,,PFA接頭,PFA三通,PFA&FEP直管&軟管,,PFA洗氣瓶(撞擊濾塵器),,PFA濾器,PTFE濾膜,,PFA螺母螺帽
特點——耐腐蝕,,各種流體均適用,適用于半導體生產各環(huán)節(jié)生產工序的管路集成,。材質高純,、品類繁多,尺寸規(guī)格符合國際標準,,適用范圍廣,。PFA濾器結構簡單,操作便捷,,集成在輸送管路中,,可進一步凈化各類高腐蝕性氣液化流體,并可在線更換濾膜,,極大提高生產效率,。

                                         

應用——泛半導體制造業(yè)各工序均可使用
產品——實驗室PFA常用工具:Savillex PFA洗瓶,PFA微柱/層析柱,,PFA燒杯,,PFA夾子,PFA滴瓶,,PFA大盆,,PFA清洗罐,PFA密封罐,,PFA注射器
特點——應用廣泛,,材質高純、設計精良,、耐腐蝕,,提高半導體制造各個工序檢測質量
 
           


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