氟聚合物作為半導體制造業(yè)可容納和運輸制造過程中使用的高純度化學品的材料,,可實現(xiàn)半導體制造需要的*穩(wěn)定性和純度,近幾年隨著半導體行業(yè)的極速擴張,,氟聚合物制品在半導體行業(yè)的需求量也呈現(xiàn)井噴模式,。
通常使用的兩種特殊類型氟聚合物:聚四氟乙烯(PTFE)和可溶性聚四氟乙烯(PFA)。
由于PFA的分子結構允許熔融加工,,可通過注塑成型等傳統(tǒng)的單一工序工藝進行制造,,使得PFA制品的表面粗糙度幾乎無法測量,且成品不需要進行任何后道加工,,杜絕引入污染,。因此PFA比PTFE更能為半導體工藝化學品提供安全保障,更適用于半導體行業(yè),。
Savillex的PFA系列商品種類豐富,質量穩(wěn)定可靠,,被各半導體制造及其支撐業(yè)企業(yè)選用,,應用于半導體制程的各個環(huán)節(jié),是高品質的保障,。
美國Savillex:開發(fā)優(yōu)秀的氟聚合物產品——無論在哪個應用領域,。
美國Savillex自1976年成立以來,46年來目標始終如一:開發(fā)優(yōu)質的氟聚合物產品——無論在哪個應用領域,。
產品——PFA霧化器,,PFA霧室,,PFA惰性套件,PFA自動進樣器小瓶
適用品牌——Agilent,、ESI,、CETEC、PE,、Nu……
特點——Savillex PFA 自吸式霧化器采用*的兩件式設計,,高靈敏度,可反吹設計有效防止堵塞,,延長使用壽命,。PFA C-Flow同心霧化器流量從35ul/min至700ul/min,可用于半導體使用的任何惰性套件,,不僅與Savillex的PFA霧室聯(lián)合,,還可與其它品牌的石英霧室聯(lián)用。流量為50ul/min的Savillex PFA霧化器尤其適用于高硅基質樣品(如VPD-ICP-MS應用)和磷酸,。Savillex PFA系列進樣產品可與多個設備連用,。尤其是Agilent PFA霧化器及惰性套件的替代。Savillex PFA自動進樣器小瓶從200ul至30ml,,PE,、Varian、I-AS,、CETAC,、ESI多品牌多型號自動進樣器用PFA小瓶,均有不同型號可替代,。Savillex PFA系列進樣系統(tǒng)是用戶性價比方面的planA。
應用——超高純氣液化流體輸送,,耐腐蝕管路集成
產品——PFA閥門,,PFA接頭,PFA三通,PFA&FEP直管&軟管,,PFA洗氣瓶(撞擊濾塵器),,PFA濾器,PTFE濾膜,,PFA螺母螺帽
特點——耐腐蝕,,各種流體均適用,適用于半導體生產各環(huán)節(jié)生產工序的管路集成,。材質高純,、品類繁多,尺寸規(guī)格符合國際標準,,適用范圍廣,。PFA濾器結構簡單,操作便捷,,集成在輸送管路中,,可進一步凈化各類高腐蝕性氣液化流體,并可在線更換濾膜,,極大提高生產效率,。
應用——泛半導體制造業(yè)各工序均可使用
產品——實驗室PFA常用工具:Savillex PFA洗瓶,PFA微柱/層析柱,,PFA燒杯,,PFA夾子,PFA滴瓶,,PFA大盆,,PFA清洗罐,PFA密封罐,,PFA注射器
特點——應用廣泛,,材質高純、設計精良,、耐腐蝕,,提高半導體制造各個工序檢測質量
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