CG-17玻璃三級高真空油擴散泵
CG-17玻璃膨脹系數(shù)低,，能更好地耐受很高的溫度差變，故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長,。該泵適用于電子工業(yè),，如電子管、顯象管,、X光管,，以及半導體單晶硅的冶煉提純，高沸點的油脂蒸餾提純分離,，日光燈,、保溫瓶高真空排氣的儀器。
工作原理
先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2帕擴散泵油被加熱沸騰,，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結,，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空,。
水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原理
水環(huán)式真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,，它所能獲得的極限真空為2000-4000帕，串聯(lián)大氣噴射器可達270-670帕,。水環(huán)泵也可用作壓縮機,，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機,，其壓力范圍為1-2X105帕表壓力,。
水環(huán)真空泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油,、化工,、機械、礦山,、輕工,、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,，如真空過濾,、真空引水,、真空送料,、真空蒸發(fā),、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,，水環(huán)泵得到廣泛的應用,。由于真空應用技術的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視,。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,，故可抽除易燃、易爆的氣體,，此外還可抽除含塵,、含水的氣體，因此,，水環(huán)泵應用日益增多,。
泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時,，水被葉輪拋向四周,，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán),。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙空間,，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔,。如果以葉輪的下部零為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180度時,，小腔面積由小變大,，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入,，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,，小腔由大變小，使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,，氣體便被排出泵外,。
綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣,、壓縮和排氣的,，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?/span>
羅茨泵的工作原理：
羅茨泵泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動,。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,，保持有一家的間隙,，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行,。由于羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似,。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出,。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài),，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹,。
但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,，VO空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高,，則有一部分氣體返沖到空間VO中去,，使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,，氣體排出泵外,。
旋片式真空泵工作原理
旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325-1.33X10-2(帕)屬于低于真空泵,。它可以單獨使用,，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金,、機械,、軍工、電子,、化工,、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門,。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體,。但它不適于抽除含氧過高的,，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體,。
旋片泵是真空技術中基本的真空獲得設備之一,。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙吸兩種,。所謂雙級,，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度,。
旋片泵抽速與入口壓強的關系規(guī)定如下：在入口壓強為1333帕,、1.33帕和1.33X10-1 (帕)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%,、50%和20%,。
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