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       靜電是凈化車間難控制的因素之一，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多,、降低電子設(shè)備的可靠性,。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中,，所有的制造階段都需要防止靜電對器件的作用,。

消除靜電的方法很多，對有防靜電環(huán)境要求的凈化車間工程，常用以下幾種方法：

1,、選用合適的材料：

       凈化車間裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料,，多種材料共同使用時，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料,。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體,。導(dǎo)體是電流能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料,。

2,、接地：

接地是帶電導(dǎo)體消除靜電為普遍、經(jīng)濟(jì),、簡便,、可靠的方法。

(1) 凈化車間內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備,、流動液體,、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。

(2) 電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂,、地面,、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾,，可以抑制塵埃的帶電吸附,。

(3) 工藝設(shè)備接地。

(4)辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電的材料制成并接地,。

(5)工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無塵衣,、鞋、帽,、手套,、腕帶等。

3,、.中和：

       將帶電體(靜電)周圍的空氣離子化后,，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達(dá)到中和而消除靜電,。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電 子和離子的裝置,，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和,，從而消除靜電,。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除,。

4,、濕度控制：

       在眾多消除靜電的方法中,，室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來減少和消除凈化車間靜電。通過在環(huán)境中保持高的相對濕度,，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層,，利用這一薄層來提供導(dǎo)電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷,。另外,，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也將減少,。一般來說,，濕度越低，產(chǎn)生的電荷越多,。但是資料表明,，甚至在濕度高時也會產(chǎn)生顯著的靜電電壓，但是,，在高濕度環(huán)境中,，生產(chǎn)人員可能會感覺十分不舒服，零部件可能生銹,，并產(chǎn)生可焊性問題,。同時,，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費(fèi)的,，尤其在干燥地區(qū)更是如此。