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超純水系統(tǒng)用于電子工業(yè),、電廠高壓鍋爐、制藥等,。水的電阻率要求接近18MΩ· cm,、電解質(zhì)含一量10 -- 20μg/L,，水的純度為99.99999%。超純化水設(shè)備的制備一般包括預處理,、除鹽,、后處理三道工序，目前使用反滲透(RO)和超過濾(UF)聯(lián)合技術(shù)是深圳純水制備*系統(tǒng),。反滲透能除去90%以上的總?cè)芙恹},、95%以上的溶解有機物、98%以上的微生物及膠體,。超濾和微濾( MF)可將系統(tǒng)中產(chǎn)生的微粒,、細菌除去，有效地保證終端用水的水質(zhì),。從超工業(yè)純水設(shè)備制造的典型的超純水制造工藝流程(圖1)和基本流程(圖2）可見,，膜清洗技術(shù)在超純水制造中至關(guān)重要。預處理通常是由凝聚,、過濾和殺生組成,，近年來以微濾、超濾來替代,，大大簡化預處理過程,。

超純水制造中RO膜以聚酰胺卷式組件為主，操作壓力1. 47MPa的低壓下可除鹽99. 5 %以上,。二級純水時要求能脫除TOC的復合膜,。