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真空系統(tǒng)對(duì)閥門的要求
閱讀：2853 發(fā)布時(shí)間：2015-2-11| 對(duì)大多數(shù)真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō),，真空閥門應(yīng)具有以下廣泛性的性能,。 1、防銹性 在與真空環(huán)境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能,。因此廣泛采用鋁合金,，銅合金和不銹鋼來(lái)制造真空隔離部件。 2,、 工作壓力范圍在0～2.5×105Pa 相對(duì)較寬的壓力范圍,，會(huì)使產(chǎn)品的使用面更廣泛，而且閥板的密封是雙向的,，至少閥板在反頂大氣壓時(shí)也可密封,。 3、低漏率 在高真空領(lǐng)域內(nèi)漏率應(yīng)<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統(tǒng)的效率，對(duì)降低生產(chǎn)成本非常有效,。 4,、 起動(dòng)時(shí)，震動(dòng)低,，對(duì)系統(tǒng)沖擊小,。 5,、 結(jié)構(gòu)緊湊,，重量輕 6、 明顯的閥位指示 7,、可選配加裝閥門啟閉信號(hào)控制器,，便于編程自動(dòng)化控制。 8,、 高流導(dǎo) 9,、 采用波紋管作為位移的動(dòng)密封 無(wú)動(dòng)態(tài)漏氣，無(wú)油脂污染,，可靠性高,，相對(duì)橡膠密封，可靠性更高并可以避免產(chǎn)生顆粒污染,。 10,，真空部分盡量避免采用真空脂。 11,，盡量減少真空部件內(nèi)的無(wú)用空間,，以保證真空獲得的時(shí)間更少。 12,，盡可能的減少功耗 |