三豐Mitutoyo三坐標(biāo)代理超高精度3D測(cè)量機(jī)

Takumi型號(hào),，具有精度的超高精度數(shù)控三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

三豐Mitutoyo三坐標(biāo)代理超高精度3D測(cè)量機(jī)

主要特點(diǎn)

• LEGEX系列是一款超高精度CNC 3D測(cè)量機(jī)，經(jīng)過(guò)分析和消除誤差因素,，擁有世界高級(jí)別的精度,。

• 最大允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差：E0,MPE=(0.23+0.7L/1000)μm，與傳統(tǒng)方法相比增加26%,，通過(guò)利用“Takumi Meister System"培育的超高精度研磨技術(shù)和精加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)精度,。

• 主體底座采用精心選材，采用密封結(jié)構(gòu),，實(shí)現(xiàn)高剛性,、高阻尼性能。此外,，我們使用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬進(jìn)行應(yīng)力分析,，以確保幾何運(yùn)動(dòng)精度,，從而最大限度地減少由于負(fù)載波動(dòng)而導(dǎo)致的變形,。此外，我們還引進(jìn)了驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu),、振動(dòng)對(duì)策等多項(xiàng)實(shí)現(xiàn)超高精度的技術(shù),。

• 用于位置檢測(cè)的長(zhǎng)度測(cè)量單元配備了超高精度長(zhǎng)度測(cè)量單元（內(nèi)部制造），該單元結(jié)合了熱膨脹系數(shù)≒0的超高精度結(jié)晶玻璃標(biāo)尺和高分辨率,、高精度-高性能反射式線性編碼器,，具有高的位置檢測(cè)能力，可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制,。

• 為了支持對(duì)各種工件進(jìn)行簡(jiǎn)單且超高精度的測(cè)量,，我們提供了多種選件，包括探頭（接觸式和非接觸式）,、數(shù)據(jù)處理設(shè)備和轉(zhuǎn)臺(tái),。

規(guī)格

X軸測(cè)量范圍（mm）

500

700

700

900

Y軸測(cè)量范圍（mm）

700

700

700

1000

測(cè)量范圍Z軸（mm）

450

450

600

600

驅(qū)動(dòng)速度 CNC模式 最大組合速度（自動(dòng)）（mm/s）

200

200

200

200

驅(qū)動(dòng)加速度（最大組合加速度）（mm/s2）

980

980

980

980

最小顯示量(mm)

0.00001

0.00001

0.00001

0.00001

引導(dǎo)方式（各軸）

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

空氣軸承

長(zhǎng)度測(cè)量單位

線性編碼器

線性編碼器

線性編碼器

線性編碼器

測(cè)量物體大高度（mm）

700

700

850

850

主機(jī)氣壓(MPa)

0.5

0.5

0.5

0.5

本體耗氣量(L/min)

（標(biāo)準(zhǔn)條件下）120L/min（氣源時(shí)160L/min以下）

（標(biāo)準(zhǔn)條件下）120L/min（氣源時(shí)160L/min以下）

（標(biāo)準(zhǔn)條件下）120L/min（氣源時(shí)160L/min以下）

（標(biāo)準(zhǔn)條件下）120L/min（氣源時(shí)160L/min以下）

測(cè)量臺(tái)材質(zhì)

鑄鐵

鑄鐵

鑄鐵

鑄鐵

測(cè)量臺(tái)尺寸（安裝面）（mm）

550x750

750×750

750×750

950x1050

測(cè)量對(duì)象最大裝載質(zhì)量（kg）

250

500

500

800

測(cè)量臺(tái)測(cè)量對(duì)象固定方式（mm）

M8x1.25

M8x1.25

M8x1.25

M8x1.25

機(jī)身質(zhì)量（含隔振臺(tái)及控制器）（kg）

3500

5000

5100

6500