測量顯微鏡是采用用透,、反射的方式對工件長度和角度作精密測量,。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器,。廣泛地適用于計量室,、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。工作臺除作X,、Y坐標的移動外,,還可以作360度的旋轉,亦可以進行高度方向做Z坐標的測量,;采用雙筒目鏡觀察,。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明,。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭,,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量,。
技術參數(shù):
1,、鏡筒:粗動:調(diào)節(jié)范圍 90毫米,微動:調(diào)節(jié)范圍2毫米,,高(Z)測量:范圍1毫米,,讀數(shù)min0.001毫米(比較測量),鏡筒:雙目鏡筒 俯角45度,;
2,、工作臺:左右(X軸):移動范圍25毫米,前后(Y軸):移動范圍25毫米,,分辨率:1微米,,旋轉:360度,;
3,、照明系統(tǒng):光源:透射照明,8V12W 藍,、綠色濾光片,、反射照明,8V12W 磨沙燈泡,、綠色透光片,、斜 照 明,、8V12W綠色濾光片、電源:AC220±22V 50/60Hz,;
4,、光學系統(tǒng):目鏡:BWF 10X;物鏡:4X,、工作距離17.5,、焦距28.8,10X,、工作距離11.6,、焦距15.4,40X,、工作距離0.66,、焦距4.4;
5,、X---Y軸測量范圍:50×13mm,;
6、測微器分度值:0.01mm,;
7,、圓工作臺角度測量范圍:0°/360°;
8,、儀器測量準確度:儀器示值誤差±(5+L/15),;
9、放大倍數(shù) 25×/100×
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