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壓力變送器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力變送器,、壓阻式壓力變送器,、電感式壓力變送器、電容式壓力變送器,、諧振式壓力變送器及電容式加速度傳感器等。
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1,、PD433H差壓力變送器器原理與應(yīng)用
力學(xué)傳感器的種類繁多,，如電阻應(yīng)變片壓力變送器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力變送器,、壓阻式壓力變送器,、電感式壓力變送器、電容式壓力變送器,、諧振式壓力變送器及電容式加速度傳感器等,。但應(yīng)用的是壓阻式壓力變送器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性,。下面我們主要介紹這類傳感器,。
在了解壓阻式壓力變送器時(shí)，我們首先認(rèn)識(shí)一下電阻應(yīng)變片這種元件,。電阻應(yīng)變片是一種將被測(cè)件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號(hào)的敏感器件,。它是壓阻式應(yīng)變變送器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用zui多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種,。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種,。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上，當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時(shí),，電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,，使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變，從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化,。這種應(yīng)變片在受力時(shí)產(chǎn)生的阻值變化通常較小,，一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋，并通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大,，再傳輸給處理電路（通常是A/D轉(zhuǎn)換和CPU）顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu),。
金屬電阻應(yīng)變片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)由基體材料、金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔,、絕緣保護(hù)片和引出線等部分組成,。根據(jù)不同的用途，電阻應(yīng)變片的阻值可以由設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì),，但電阻的取值范圍應(yīng)注意：阻值太小,，所需的驅(qū)動(dòng)電流太大,，同時(shí)應(yīng)變片的發(fā)熱致使本身的溫度過高，不同的環(huán)境中使用,，使應(yīng)變片的阻值變化太大,，輸出零點(diǎn)漂移明顯，調(diào)零電路過于復(fù)雜,。而電阻太大,，阻抗太高，抗外界的電磁干擾能力較差,。一般均為幾十歐至幾十千歐左右,。
電阻應(yīng)變片的工作原理
金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象，俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng),。金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示：
式中：ρ——金屬導(dǎo)體的電阻率（Ω?cm2/m）
S——導(dǎo)體的截面積（cm2）
L——導(dǎo)體的長(zhǎng)度（m）
我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,，當(dāng)金屬絲受外力作用時(shí)，其長(zhǎng)度和截面積都會(huì)發(fā)生變化,，從上式中可很容易看出,，其電阻值即會(huì)發(fā)生改變，假如金屬絲受外力作用而伸長(zhǎng)時(shí),，其長(zhǎng)度增加,，而截面積減少，電阻值便會(huì)增大,。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時(shí),，長(zhǎng)度減小而截面增加，電阻值則會(huì)減小,。只要測(cè)出加在電阻的變化（通常是測(cè)量電阻兩端的電壓）,，即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情
2、陶瓷壓力變送器原理及應(yīng)用
抗腐蝕的壓力變送器沒有液體的傳遞,，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,，連接成一個(gè)惠斯通電橋（閉橋）,，由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性,、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),，標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容,。通過激光標(biāo)定,，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0～70℃,，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸,。
陶瓷是一種*的高彈性,、抗腐蝕、抗磨損,、抗沖擊和振動(dòng)的材料,。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40～135℃，而且具有測(cè)量的高精度,、高穩(wěn)定性,。電氣絕緣程度?2kV，輸出信號(hào)強(qiáng),，長(zhǎng)期穩(wěn)定性好,。高特性，低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力變送器的發(fā)展方向,，在歐美國(guó)家有全面替代其它類型傳感器的趨勢(shì)，在中國(guó)也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力變送器,。
3,、擴(kuò)散硅壓力變送器原理及應(yīng)用
工作原理
被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,，使傳感器的電阻值發(fā)生變化,，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào),。
4,、藍(lán)寶石壓力變送器原理與應(yīng)用
利用應(yīng)變電阻式工作原理，采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,，具有的計(jì)量特性,。
藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會(huì)發(fā)生滯后,、疲勞和蠕變現(xiàn)象,；藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固，硬度更高,，不怕形變,；藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性（1000 OC以內(nèi)），因此,，利用硅-藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,，對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下,，也有著很好的工作特性,；藍(lán)寶石的抗輻射特性*；另外,，硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,，無p-n漂移,，因此，從根本上簡(jiǎn)化了制造工藝,，提高了重復(fù)性,，確保了高成品率。
用硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,，可在zui惡劣的工作條件下正常工作,，并且可靠性高、精度好,、溫度誤差極小,、性價(jià)比高。
表壓壓力傳感器和壓力變送器由雙膜片構(gòu)成：鈦合金測(cè)量膜片和鈦合金接收膜片,。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片,，被焊接在鈦合金測(cè)量膜片上。被測(cè)壓力傳送到接收膜片上（接收膜片與測(cè)量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起）,。在壓力的作用下,，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后,，其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化,，變化的幅度與被測(cè)壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,，并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出（0-5,，4-20mA或0-5V）。在絕壓壓力傳感器和壓力變送器中,，藍(lán)寶石薄片,，與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起，起到了彈性元件的作用,，將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,，從而達(dá)到壓力測(cè)量的目的。
5,、壓電壓力傳感器原理與應(yīng)用
壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英,、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英（二氧化硅）是一種天然晶體,，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電性質(zhì)一直存在,，但溫度超過這個(gè)范圍之后,，壓電性質(zhì)*消失（這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”）。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低）,，所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代,。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù)，但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用,。磷酸二氫胺屬于人造晶體,，能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度，所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,。
現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,，比如現(xiàn)在的壓電陶瓷，包括鈦酸鋇壓電陶瓷,、PZT,、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等,。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,，壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量，因?yàn)榻?jīng)過外力作用后的電荷,，只有在回路具有無限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存,。實(shí)際的情況不是這樣的，所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力,。
壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中,。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì),。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小,、重量輕,、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī),、汽車,、船舶、橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位,。壓電式傳感器也可以用來測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測(cè)量與真空度的測(cè)量。也可以用于軍事工業(yè),，例如用它來測(cè)量槍炮在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力,。它既可以用來測(cè)量大的壓力，也可以用來測(cè)量微小的壓力,。
壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測(cè)量中,，比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的，因?yàn)闇y(cè)量動(dòng)態(tài)壓力是如此普遍,，所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛,。
力學(xué)傳感器的種類繁多,，如電阻應(yīng)變片壓力變送器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力變送器,、壓阻式壓力變送器,、電感式壓力變送器、電容式壓力變送器,、諧振式壓力變送器及電容式加速度傳感器等,。但應(yīng)用的是壓阻式壓力變送器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性,。下面我們主要介紹這類傳感器,。
在了解壓阻式壓力變送器時(shí)，我們首先認(rèn)識(shí)一下電阻應(yīng)變片這種元件,。電阻應(yīng)變片是一種將被測(cè)件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號(hào)的敏感器件,。它是壓阻式應(yīng)變變送器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用zui多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種,。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種,。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上，當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時(shí),，電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,，使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變，從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化,。這種應(yīng)變片在受力時(shí)產(chǎn)生的阻值變化通常較小,，一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋，并通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大,，再傳輸給處理電路（通常是A/D轉(zhuǎn)換和CPU）顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu),。
金屬電阻應(yīng)變片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)由基體材料、金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔,、絕緣保護(hù)片和引出線等部分組成,。根據(jù)不同的用途，電阻應(yīng)變片的阻值可以由設(shè)計(jì)者設(shè)計(jì),，但電阻的取值范圍應(yīng)注意：阻值太小,，所需的驅(qū)動(dòng)電流太大,，同時(shí)應(yīng)變片的發(fā)熱致使本身的溫度過高，不同的環(huán)境中使用,，使應(yīng)變片的阻值變化太大,，輸出零點(diǎn)漂移明顯，調(diào)零電路過于復(fù)雜,。而電阻太大,，阻抗太高，抗外界的電磁干擾能力較差,。一般均為幾十歐至幾十千歐左右,。
電阻應(yīng)變片的工作原理
金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象，俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng),。金屬導(dǎo)體的電阻值可用下式表示：
式中：ρ——金屬導(dǎo)體的電阻率（Ω?cm2/m）
S——導(dǎo)體的截面積（cm2）
L——導(dǎo)體的長(zhǎng)度（m）
我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,，當(dāng)金屬絲受外力作用時(shí)，其長(zhǎng)度和截面積都會(huì)發(fā)生變化,，從上式中可很容易看出,，其電阻值即會(huì)發(fā)生改變，假如金屬絲受外力作用而伸長(zhǎng)時(shí),，其長(zhǎng)度增加,，而截面積減少，電阻值便會(huì)增大,。當(dāng)金屬絲受外力作用而壓縮時(shí),，長(zhǎng)度減小而截面增加，電阻值則會(huì)減小,。只要測(cè)出加在電阻的變化（通常是測(cè)量電阻兩端的電壓）,，即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情
2、陶瓷壓力變送器原理及應(yīng)用
抗腐蝕的壓力變送器沒有液體的傳遞,，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,，連接成一個(gè)惠斯通電橋（閉橋）,，由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性,、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),，標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容,。通過激光標(biāo)定,，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0～70℃,，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸,。
陶瓷是一種*的高彈性,、抗腐蝕、抗磨損,、抗沖擊和振動(dòng)的材料,。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40～135℃，而且具有測(cè)量的高精度,、高穩(wěn)定性,。電氣絕緣程度?2kV，輸出信號(hào)強(qiáng),，長(zhǎng)期穩(wěn)定性好,。高特性，低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力變送器的發(fā)展方向,，在歐美國(guó)家有全面替代其它類型傳感器的趨勢(shì)，在中國(guó)也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力變送器,。
3,、擴(kuò)散硅壓力變送器原理及應(yīng)用
工作原理
被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,，使傳感器的電阻值發(fā)生變化,，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào),。
4,、藍(lán)寶石壓力變送器原理與應(yīng)用
利用應(yīng)變電阻式工作原理，采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,，具有的計(jì)量特性,。
藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成，不會(huì)發(fā)生滯后,、疲勞和蠕變現(xiàn)象,；藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固，硬度更高,，不怕形變,；藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性（1000 OC以內(nèi)），因此,，利用硅-藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,，對(duì)溫度變化不敏感，即使在高溫條件下,，也有著很好的工作特性,；藍(lán)寶石的抗輻射特性*；另外,，硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,，無p-n漂移,，因此，從根本上簡(jiǎn)化了制造工藝,，提高了重復(fù)性,，確保了高成品率。
用硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,，可在zui惡劣的工作條件下正常工作,，并且可靠性高、精度好,、溫度誤差極小,、性價(jià)比高。
表壓壓力傳感器和壓力變送器由雙膜片構(gòu)成：鈦合金測(cè)量膜片和鈦合金接收膜片,。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片,，被焊接在鈦合金測(cè)量膜片上。被測(cè)壓力傳送到接收膜片上（接收膜片與測(cè)量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起）,。在壓力的作用下,，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后,，其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化,，變化的幅度與被測(cè)壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,，并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出（0-5,，4-20mA或0-5V）。在絕壓壓力傳感器和壓力變送器中,，藍(lán)寶石薄片,，與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起，起到了彈性元件的作用,，將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,，從而達(dá)到壓力測(cè)量的目的。
5,、壓電壓力傳感器原理與應(yīng)用
壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英,、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英（二氧化硅）是一種天然晶體,，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電性質(zhì)一直存在,，但溫度超過這個(gè)范圍之后,，壓電性質(zhì)*消失（這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”）。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低）,，所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代,。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù)，但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用,。磷酸二氫胺屬于人造晶體,，能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度，所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,。
現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,，比如現(xiàn)在的壓電陶瓷，包括鈦酸鋇壓電陶瓷,、PZT,、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等,。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,，壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量，因?yàn)榻?jīng)過外力作用后的電荷,，只有在回路具有無限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存,。實(shí)際的情況不是這樣的，所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力,。
壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中,。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì),。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小,、重量輕,、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī),、汽車,、船舶、橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位,。壓電式傳感器也可以用來測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測(cè)量與真空度的測(cè)量。也可以用于軍事工業(yè),，例如用它來測(cè)量槍炮在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力,。它既可以用來測(cè)量大的壓力，也可以用來測(cè)量微小的壓力,。
壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測(cè)量中,，比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的，因?yàn)闇y(cè)量動(dòng)態(tài)壓力是如此普遍,，所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛,。