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擴散氧化退火爐爐體鎢絲的作用和原理
閱讀：38 發(fā)布時間：2025-4-24一,、 擴散氧化退火爐的作用和原理
擴散氧化退火爐是一種用于半導體器件制造的設(shè)備，其主要作用是在高溫下進行氧化和退火等處理,，以改善半導體器件的性能,。
在擴散氧化退火爐中，半導體器件通過輸送系統(tǒng)進入爐體中,，在高溫和特定氣氛下進行處理,。這些處理包括氧化、退火,、摻雜等多個過程,，可以改善半導體器件的性能和可靠性。
二,、 爐體中的鎢絲
爐體中的鎢絲是擴散氧化退火爐的一個關(guān)鍵組成部分,。在進行高溫處理時，鎢絲作為熱源,，提供必要的能量以確保處理溫度的均勻性和一致性,。
此外，鎢絲還可以起到調(diào)控氣氛的作用,。在處理過程中,，通過控制氣氛中的成分和壓力，可以對處理過程進行精確的控制和調(diào)整,。鎢絲作為爐體中的一個組成部分,，需要具備良好的耐高溫性和穩(wěn)定性，以確保處理的精度和可靠性,。
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