半導(dǎo)體功能性鍍層測(cè)厚儀是天瑞儀器集30多年X熒光膜厚測(cè)量技術(shù),，研發(fā)的一款X射線熒光鍍層測(cè)厚及成分分析儀,。半導(dǎo)體功能性鍍層測(cè)厚儀采用多導(dǎo)毛細(xì)管X射線光學(xué)系統(tǒng)，對(duì)于微米尺寸電子零件,、芯片針腳,、晶圓微區(qū)等部件的鍍層厚度和成分分析，能進(jìn)行高效,、準(zhǔn)確的測(cè)量,。


 技術(shù)參數(shù)


X射線熒光工作原理


性能特點(diǎn)
1、結(jié)合鍍層行業(yè)微小樣品的檢測(cè)需求,，研發(fā)適用于鍍層檢測(cè)的chao近光路系統(tǒng),，減少能量過(guò)程損耗。 搭載多導(dǎo)毛細(xì)管聚焦管,，ji大的提升了儀器的檢測(cè)性能,，聚焦qiang度提升1000~10000倍,，geng gao 的檢測(cè)靈敏度和分析jing du 以及gao 計(jì)數(shù)率bao zheng 測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和wen ding 性,。

2、全景+微區(qū)雙相機(jī)設(shè)計(jì),，呈現(xiàn)全高清廣角視野,，讓樣品觀察geng quan mian ；微米別分辨率,，較好的man zu chao微產(chǎn)品的測(cè)試,，讓測(cè)試geng guang fan geng 便捷。

3,、優(yōu)質(zhì)的多導(dǎo)毛細(xì)管技術(shù),，信號(hào)qiang度比金屬準(zhǔn)直系統(tǒng)高出幾個(gè)數(shù)量。
4,、多規(guī)格可選的多導(dǎo)毛細(xì)管,，較好的man zu 用戶不同測(cè)試需求。
5,、gao jing 度XYZ 軸移動(dòng)測(cè)試平臺(tái),，結(jié)合雙激光點(diǎn)位定位系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)在樣品測(cè)試過(guò)程中的quan zi動(dòng)化感受,， 一鍵點(diǎn)擊,，測(cè)試geng省心。
應(yīng)用行業(yè)
· 測(cè)量chao微小部件和結(jié)構(gòu),，如：印制線路板,、連接器或引線框架等；
· 分析chao薄鍍層,，如：厚度薄至2nm 的Au 鍍層和≤30nm 的Pd 鍍層,；
· 測(cè)量電子和半導(dǎo)體行業(yè)中的功能性鍍層,；
· 分析復(fù)雜的多鍍層系統(tǒng)；
·quan zi動(dòng)測(cè)量,，如：用于質(zhì)量kong zhi ling yu ,；
·符合ENIG/ENEPIG要求，符合DINISO3497,ASTMB568,IPC4552和IPC4556標(biāo)準(zhǔn),。

天瑞儀器股份有限公司生產(chǎn)設(shè)備：臺(tái)式ROHS檢測(cè)儀（EDX1800B,、EDX1800E、EDX4500H,、EDX6000C等）應(yīng)用歐盟ROHS指令應(yīng)用電子電器,、玩具、陶瓷,、家電,、高分子材料、紡織,、皮革等,，手持元素分析儀（Explorer3000、Explorer5000,、Explorer7000,、Explorer9000）應(yīng)用：大件柜子、金屬材料,、礦業(yè),、土壤等，ROHS2.0分析儀器（GCMS6800,、UPY-100,、UPY-90、UPY-GCMS6800等）涉及有機(jī)物應(yīng)用：鄰苯二甲酸酯分析儀,、雙酚A,，多環(huán)芳烴（PAHs），氯化苯和氯化甲苯,、REACH等,，鍍層測(cè)厚儀（EDX600PLUS、EDX2000A,、THICK800A,、EDX-V、EDX-T等）涉及工業(yè)電鍍,、化鍍,、熱鍍和不規(guī)則樣品等各種鍍層：五金衛(wèi)浴、磁性材料、電子電器,、電鍍行業(yè),、汽車制造等，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICP-MS2000應(yīng)用：環(huán)境水資源食品,、衛(wèi)生防疫,、商檢、半導(dǎo)體,、醫(yī)藥及生理分析（頭發(fā),、全血、血清,、尿樣,、全血鉛等），波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX-200,、WDX-400,、WDX-4000）應(yīng)用：建材（水泥、玻璃,、陶瓷等）,、鋼鐵、有色金屬,、化工,、地質(zhì),、石油,、化工等行業(yè)，離子色譜儀TIC600應(yīng)用環(huán)境監(jiān)測(cè),、電子化工,、食品安全、生物化學(xué)研究等方面的常量及微痕量離子分析,。