為什么會使用進口氫氣發(fā)生器,？化學(xué)氣相沉積法是利用氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的物質(zhì)在固體表面上進行化學(xué)反應(yīng)，從而形成所需要的固態(tài)薄膜或涂層的過程,，是制備無機材料的方法,。其中，用氫氣還原鹵化物來制備各種金屬或多晶硅薄膜是尤為常用的化學(xué)反應(yīng),，此還原反應(yīng)的方法應(yīng)用范圍廣泛,，可制備單晶、多晶以及非晶薄膜,，另外也容易摻雜,。作為反應(yīng)中*的還原氣體，氫氣在CVD反應(yīng)中扮演著極其重要的作用,。
傳統(tǒng)的方法是使用氫氣鋼瓶作為氫氣氣源,，這種方式不僅使用起來不方便，氫氣是易燃易爆氣體,，在運輸過程中還存在極大的安全隱患,。因此，氫氣發(fā)生器便成為了代替氫氣鋼瓶的*,。如今,，進口氫氣發(fā)生器已廣泛應(yīng)用于CVD實驗,，是化學(xué)氣相沉積應(yīng)用的可靠且安全的氫氣氣源。
進口氫氣發(fā)生器應(yīng)用優(yōu)勢：
1.高純度：作為反應(yīng)中*的還原氣體,，高純度氫氣在CVD反應(yīng)中扮演著極其重要的作用,。氫氣中微量氧或水蒸氣等雜質(zhì)會對沉積過程產(chǎn)生很大影響，當(dāng)有氧存在時,，沉積物的晶粒劇烈生長,，并伴有分層現(xiàn)象出現(xiàn)。氫氣發(fā)生器采用三重過濾技術(shù),，所產(chǎn)氫氣純度>99.9999%,，氧氣含量<1ppm，水含量<1ppm,，過濾技術(shù)及氫氣純度都為市場優(yōu)先選擇,。
2.安全性：氫氣發(fā)生器因其即產(chǎn)即用、按需供給的特點,，成為極為安全,、可靠的氫氣氣源。采用PEM質(zhì)子交換膜電解純水的原理產(chǎn)生高純氫氣,，無需添加堿液,，即插即用，使用方便,，而且具有開機自檢,、壓力報警等特性,，全面保障發(fā)生器的安全性,。
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