選用雅馬拓真空泵的注意事項(xiàng)
選用yamato雅馬拓真空泵時(shí),,需要注意下列事項(xiàng):
1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級,。
2、每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4,、由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空度,。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用。
5,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,,如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,也能達(dá)到清潔真空要求,。
6、選擇yamato雅馬拓真空泵時(shí),,需要知道氣體成分,,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器,、除塵器等。
7,、如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外,。
8,、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。
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