CVD管式爐 高溫電爐,,集真空管式爐,,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)(有雙溫區(qū),、三溫區(qū),、多溫區(qū)),可預抽真空(有高真空,、低真空),,通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠,??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,,溫沖幅度小,,性能可靠,簡單易操作等特點,。
CVD管式爐廣泛適用于高,、中、低溫CVD工藝,,例如:碳納米管的研制,、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等,;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理,。CVD管式爐 高溫電爐具有以下優(yōu)勢:
1、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛,。
2,、CVD管式爐溫控系統(tǒng)采用進口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性,、重復性,。
3、可拆卸式的三面密封方式,,具有良好的潔凈度和真空度,;
4,、耐火,保溫材料全部采用*進的輕質(zhì)纖維制品,,整機質(zhì)量輕,、能耗低;
5,、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁(碳)棒或*電阻絲,。
CVD管式爐功能以及特點說明:
1、CVD管式爐內(nèi)置兩個溫區(qū),,可以營造300℃內(nèi)不同的溫度梯度,;
2、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,,控溫儀表中可以設置30段升降溫程序,,每個溫區(qū)可以單獨控溫;
3,、采用KF快速法蘭密封,,只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接,放,、取物料方便快捷,,避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能,;
4,、CVD管式爐爐蓋可打開,可以實時觀察燒結(jié)的物料狀況,,并能迅速降溫,,滿足材料驟冷驟熱的實驗需要;
5,、CVD管式爐爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料,,保溫性能好,耐用,,拉伸強度高,無雜球,,純度高,,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料;
6,、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,,經(jīng)久耐用,高溫度可達1200℃,。
7,、預留了真空,、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng),、混氣系統(tǒng)使用,;
8、CVD管式爐預留了485轉(zhuǎn)換接口,,可通過我司軟件,,與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制,、實時追蹤,、歷史記錄、輸出報表等功能,;可安裝無紙記錄裝置,,實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出,。
9,、CVD管式爐上蓋開啟自動斷電,超溫報警并斷電,,漏電保護,,操作安全可靠。