CVD管式爐 高溫電爐,，集真空管式爐,，多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成，可根據(jù)用戶需要設計生產(chǎn)（有雙溫區(qū),、三溫區(qū),、多溫區(qū)），可預抽真空（有高真空,、低真空）,，通多種氣氛（供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠,?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術，具有控溫精度高,，溫沖幅度小,，性能可靠，簡單易操作等特點,。

CVD管式爐廣泛適用于高,、中、低溫CVD工藝,，例如：碳納米管的研制,、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等,；也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理,。CVD管式爐 高溫電爐具有以下優(yōu)勢：

1、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛,。

2,、CVD管式爐溫控系統(tǒng)采用進口多段智能程序溫度控制儀控制，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性,、重復性,。

3、可拆卸式的三面密封方式,，具有良好的潔凈度和真空度,；

4,、耐火，保溫材料全部采用*進的輕質(zhì)纖維制品,，整機質(zhì)量輕,、能耗低；

5,、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁（碳）棒或*電阻絲,。

CVD管式爐功能以及特點說明：

1、CVD管式爐內(nèi)置兩個溫區(qū),，可以營造300℃內(nèi)不同的溫度梯度,；

2、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,，控溫儀表中可以設置30段升降溫程序,，每個溫區(qū)可以單獨控溫；

3,、采用KF快速法蘭密封,，只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放,、取物料方便快捷,，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能,；

4,、CVD管式爐爐蓋可打開，可以實時觀察燒結(jié)的物料狀況,，并能迅速降溫,，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要；

5,、CVD管式爐爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料,，保溫性能好，耐用,，拉伸強度高，無雜球,，純度高,，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料；

6,、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,，經(jīng)久耐用，高溫度可達1200℃,。

7,、預留了真空,、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng),、混氣系統(tǒng)使用,；

8、CVD管式爐預留了485轉(zhuǎn)換接口,，可通過我司軟件,，與計算機互聯(lián)，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制,、實時追蹤,、歷史記錄、輸出報表等功能,；可安裝無紙記錄裝置,，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出,。

9,、CVD管式爐上蓋開啟自動斷電，超溫報警并斷電,，漏電保護,，操作安全可靠。