當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>制膜設備>>蒸發(fā)鍍膜>> GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀
GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti,、Al 、Au等)和小分子的有機物,。本機設有4個蒸鍍加熱舟,,每個加熱舟都可獨立進行蒸鍍,加熱舟上方有一個可旋轉(zhuǎn)擋板,,當其中一個加熱舟進行蒸鍍時擋板將其它三個鎢舟遮住,,以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,,可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,,是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極,,在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化,,進而損壞電極。該機采用金屬腔室,,具有*的真空度,,真空度可達到5.0×10-7torr,樣品臺可對樣品進行加熱,,加熱溫度為室溫-500℃,,是進行高真空蒸發(fā)鍍膜的設備。
1,、真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi),。
2,、采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷,。
3,、真空腔體設有1個KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,提高效率),、1個CF150閘板閥(直接與分子泵相連),、1個KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、6個CF35法蘭(1個安裝電離規(guī),,1個安裝2芯電極,,1個安裝膜厚儀)3個備用。
4,、在腔體底部配有5個水冷電極,,可支持4個蒸鍍加熱舟。
5,、樣品臺安裝在腔體的頂部,。
6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀,,膜厚測量分辨率(鋁)為0.1Å,。
7、可使用循環(huán)水冷機,。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | GSL-1800X-ZF4 | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。 1,、水:設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,,必須有良好接地 3,、工作臺:落地式,占地面積2m2以上,。 4,、通風裝置:需要 | |
主要參數(shù) | 1、輸入:單相AC220V,,50Hz/60Hz,,功率<2.16KW(不含真空泵) 2、蒸發(fā)輸出:電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào),,極限蒸發(fā)電流200A,,極限蒸發(fā)功率<1.6KW 3、真空腔:Ø300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4,、觀察窗:Ø100mm,采用專用密封圈密封 5,、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s 6,、真空度:8.0x10-4Pa 7,、極限真空8.0x10-5Pa 8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S 9,、樣品臺:φ120 10,、蒸發(fā)舟與樣品臺間距:140-200mm 11、冷卻水需量:15L/min 12,、樣品臺加熱溫度:室溫~500℃,,可自動控溫,測溫 | |
產(chǎn)品規(guī)格 |
尺寸:900mm×1100mm×1800mm,; |