PCE-22紫外臭氧清洗機是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,，其加熱溫度可達150℃,。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ),。特別適合移除光刻膠,，改善表面潤濕性,，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等,。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,，特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm,。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）,。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。1,、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
2,、溫度范圍：5-40℃;
3,、最大相對濕度80％，最高30.5℃,，40℃線性降至50％相對濕度;
4、主電源波動不超過額定電壓的10％;
5,、污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。
6,、去除分子級別的污染物
7,、紫外光固化粘合劑
8,、紫外光催化
9、氧化PDMS
10,、表面消毒
11、刻蝕
12,、清洗MEMS 器件
13,、清洗各種基片,，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

產(chǎn)品名稱	PCE-22紫外臭氧清洗機
產(chǎn)品型號	PCE-22
主要參數(shù)	1,、功率：最大350W 2、AC 208~240V,，單相 50/60Hz
	腔體&樣品臺 1,、不銹鋼殼體 2、抽屜式樣品臺,，以便放樣取樣 3,、樣品臺面積310 mm x 320 mm 4,、臭氧通風裝置安裝在腔體上 5,、樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)） 6,、樣品臺可以加熱，最高溫度可達150℃ 7,、可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ 8,、設(shè)備運行時間：0.01 秒- 99.9小時
	排氣口 1,、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 2,、請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外 3,、儀器中不包含橡膠管
	紫外燈 1,、可發(fā)出雙波長的水銀燈 2、功率：55W 3,、發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm 4,、使用壽命：2500 小時（可更換） 5、照射區(qū)域：200 x 200 mm 6,、可以清潔直徑最大為12英寸x 35毫米的晶體晶片,。
產(chǎn)品規(guī)格	1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 2,、重量：28kg