小型-等離子清洗機返回列表頁

參考價：面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:PCE-6

品牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所在地:上海市

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舉報評價

更新時間：2025-03-13 11:44:32瀏覽次數(shù)：2678次

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產(chǎn)品分類品牌

清洗設(shè)備: 晶圓清洗機顯影清洗機紫外臭氧清洗等離子清洗超聲波清洗

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價格區(qū)間	面議
儀器種類	通用型	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%）,，輸出功率7.2W,、10.2W,、29.6W三檔可調(diào),。本機主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）,，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機體積小,，占用的空間少,，

詳情介紹

    PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%）,，輸出功率7.2W,、10.2W、29.6W三檔可調(diào),。本機主要是通過空氣,、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）,，對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,。PCE-6小型等離子清洗機體積小,，占用的空間少，可有效節(jié)約實驗室空間,。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵,，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等氣體,，適用于對易氧化的物品的清洗,。1、通過控制面板的按鍵及開關(guān),，可控制調(diào)節(jié)射頻功率,、真空泵的開閉、清洗時間,。

    2,、時間、功率,、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上,。

    3、設(shè)有一個三通閥,，可精確控制進氣流量,，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口,。

    4,、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

產(chǎn)品名稱	PCE-6小型等離子清洗機
產(chǎn)品型號	PCE-6
主要參數(shù)	1,、電源：AC220V 50/60Hz
	2,、輸出功率：7.2W、10.2W,、29.6W
	3,、真空泵功率：<500W
	4、總功率：<600W
	5,、射頻頻率：3.0MHz,，功率3檔可手動調(diào)節(jié)
	6、等離子腔體：高純石英腔體Ø160mm×190mm,，采用鋁制折疊式法蘭進行密封,，法蘭上設(shè)有Ø45mm的觀察窗
	7,、真空泵：120L/min,，直連式雙旋真空泵
	8、極限真空度：50mtorr
	9,、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,，如N2,、Ar、H2,、O2,、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
	清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：400mm×300mm×300mm
	重量：10.2kg
可選配件	1、2"-6"石英舟（盛放基片）
	2,、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)