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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>制膜設(shè)備>>磁控濺射鍍膜>> GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀
主要特點(diǎn)：
1、設(shè)有真空表、濺射電流表,，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài),。
2,、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器,、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng),、電離電流及選擇所需要的電離氣體,，以獲得最佳鍍膜效果。
3,、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
4,、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用,。
5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,，使濺射鍍層更均勻純凈。
6,、濺射頭采用Peltier制冷技術(shù),，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層,。
7,、可用水冷濺射頭,、水冷載物臺(tái)。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-SPC-16M | |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,，溫度25℃±15℃,，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1,、水：設(shè)備需選配自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2,、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3,、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上）,，需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm,，承重50kg以上 5,、通風(fēng)裝置：不需要 | |
| 主要參數(shù) | 1、靶：?50mm 2,、真空室：?160mm×120mm 3,、真空度：≤4×10-2mbar 4、max電流：50mA（可選100mA） 5,、可設(shè)定極*：9999s 6、微型真空氣閥：連接?3mm軟管 7,、極限電壓：1600V DC 8,、機(jī)械泵：2L/s | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：360mm×300mm×380mm。 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1,、金靶材1個(gè) 2,、進(jìn)氣針閥1個(gè) 3、保險(xiǎn)絲2個(gè) | |
| 可選配件 | 金,、銦,、銀、鉑等各種靶材 | |
