精密研磨拋光機對球形 CeO2 粉體的制備及其拋光性能的研究

摘要：以硝酸鈰、尿素為原料,，檸檬酸為表面活性劑，首先采用水熱法制備出球 形 CeCO3OH 前驅體再經(jīng)高溫焙燒得到球形 CeO2 粉體,。利用 XRD,、FT-IR、SEM 及拋光試驗對 CeO2 粉體性能進行表征,，結果表明：以檸檬酸為表面活性劑,，在 180℃時水熱反應 24h，再經(jīng) 800℃高溫焙燒,，所制備的 CeO2 粉體呈球形,，分散 性好，粒度約為 2μm,，且粒度分布均勻,，適合軟質玻璃的精密拋光。

關鍵詞：CeO2 粉體；水熱法,；球形,；拋光性能

隨著高精密光學技術和大規(guī)模集成電路的發(fā)展，各種光學元件[1]和硅基片 [2]需要具有超光滑表面,，對表面粗糙度和波紋度的要求以達到納米級[3],。化學 機械拋光技術（CMP）是幾乎*的的全局平坦化技術[4],，其應用范圍逐 漸擴大,。CeO2 拋光粉作為拋光粉使用，具有拋光效率高,、使用壽命長,、易于清 洗等優(yōu)點[5]。普通 CeO2 拋光粉廣泛應用于光學玻璃,、顯像管,、寶石、金屬制品 拋光中,；而對于具有超光滑要求的拋光,，如光掩膜基板、液晶玻璃等,，則要求 CeO2 拋光粉具有純度高,、形貌規(guī)則、硬度適中,、粒度分布均勻等特點[6],。

水熱法是以水溶液為反應介質，在密閉高壓反應釜內(nèi),，通過創(chuàng)造高溫,、高 壓環(huán)境，使難溶或不溶物質溶解-重結晶,。水熱法可以在較溫和的條件下,，制備 出超細、低團聚,、高結晶度的粉體,，且通過改變反應條件可以控制粉體形貌[7]。

本文采用水熱法,，以硝酸鈰,、尿素為原料，檸檬酸為表面活性劑,，制備球 形 CeO2 粉體,，通過對各影響因素的研究,，探索出球形 CeO2 粉體的制備方法， 并對 CeO2 粉體的拋光性能進行表征,。

1 實驗

• CeO2 粉體的制備

  按照硝酸鈰,、尿素、檸檬酸摩爾為 1:5:3,，取一定量的硝酸鈰和檸檬酸溶解 于 50mL 去離子水中形成溶液 A,，按照比例取適量尿素溶于 30mL 去離子水中形 成溶液 B，待澄清后,，將溶液 B 緩慢滴入溶液 A 中，繼續(xù)攪拌反應 30min,，轉 入帶有聚四氟乙烯內(nèi)襯的高壓反應釜中,，180℃下反應 24h，得到黃色沉淀物,， 沉淀物用無水乙醇洗滌 3 次,，經(jīng)干燥后高溫焙燒得到淡黃色 CeO2 粉體。

• 測試與表征

  物相分析用 D8-ADVANCE 型 X 射線衍射儀,，以銅靶（λ=0.15418nm）為輻 射源測定,；化學鍵分析用 Nicolet380 型紅外光譜儀測定；粉體形貌用 QUANTA FEG250 型場發(fā)射掃描電子顯微鏡測定,。

• CeO2 粉體拋光性能測試

  取一定質量CeO2粉體分散在去離子水中,，加入適量懸浮分散劑形成拋光液。 在 UNIPOL-1502 型精密研磨拋光機上,，對高硬度石英玻璃,、中硬度 K9 玻璃和 低硬度 ZF7 玻璃進行拋光，測量拋光前后玻璃減少的量,，并計算拋光速率,。

2 結果與討論

2.1 產(chǎn)物相結構與組成分析

  圖 1 是水熱溫度分別為 160℃、180℃和 200℃所制備的前驅體,，經(jīng) 800℃焙 燒制成 CeO2 粉體的 XRD 圖譜,。從圖 1 可以看出，未經(jīng)高溫焙燒的前驅體沒有 明顯衍射峰,，結晶度較低,，對應為六方晶系 CeCO3OH（JCPDS NO.34-0198）； 高溫焙燒后的 CeO2 粉體,，衍射峰與標準 JCPDS 卡片 NO.34-0394 相一致,，分別 對應立方螢石結構氧化鈰的（111）、（200）,、（220）,、（311）晶面,，且衍射 峰強度較高，峰寬較窄,，結晶度高,。

圖 2 中 CeO2粉體的紅外光譜圖可以看出，427cm-1附近出現(xiàn) Ce-O 的伸縮振 動峰,；3430cm-1和 1620cm-1附近出現(xiàn)-OH 基團中 O-H 的伸縮振動峰和彎曲振動 峰,；1080cm-1附近的吸收峰是空氣中 CO2的 C-O 鍵的伸縮振動峰。因此可知,，所得產(chǎn)物為 CeO2,。

   圖 2 中 CeO2 粉體的紅外光譜圖可以看出，427cm-1 附近出現(xiàn) Ce-O 的伸縮 振動峰,；3430cm-1 和 1620cm-1 附近出現(xiàn)-OH 基團中 O-H 的伸縮振動峰和彎曲 振動峰,；1080cm-1 附近的吸收峰是空氣中 CO2 的 C-O 鍵的伸縮振動峰。因此可 知,，所得產(chǎn)物為 CeO2,。

2.2 CeO2 形成機理

采用尿素水解法制備 CeO2 粉體，在水熱條件下,，尿素水解生成 NH4+和 OCN-,；在中性或弱堿性條件下，OCN-繼續(xù)反應生成 CO32-和 NH3,；隨反應釜內(nèi) 溫度和壓力的升高,，尿素水解速率增大，Ce3+與 CO32-和 OH-反應生成 CeCO3OH,；經(jīng)過高溫焙燒后,，CeCO3OH 分解形成 CeO2。反應方程式如下：

CO（NH2）2→NH4++OCN- （1）

OCN-+OH-+H2O→NH3+CO32- （2）

Ce3++OH-+CO32-→CeCO3OH （3）

4CeCO3OH+O2→4CeO2+2H2O+4CO2 （4）

2.3 產(chǎn)物 SEM 分析

圖 3 為前驅體 CeO2 粉體的掃描電鏡照片,，可以看出,，前驅體堿式碳酸鈰和 焙燒后形成的 CeO2 粉體均呈球形，表面光滑,，粒徑約 2μm,，粒度分布均勻。

2.4 表面活性劑種類對產(chǎn)物形貌的影響

圖 4 為分別以十二烷基本磺酸鈉和檸檬酸鈉作表面活性劑時,，產(chǎn)物的掃描電 鏡照片,。

從圖 4 可以看出，以十二烷基本磺酸鈉為表面活性劑時,，制備的 CeO2 粉體 呈立方塊狀,，粒徑約為 0.8μm，粒度分布均勻,；檸檬酸鈉為表面活性劑,，制得的 CeO2 粉體呈紡錘形,，顆粒縱向長度約為 1.8μm,。選擇不同表面活性劑對產(chǎn)物形 貌的影響主要是由于表面活性劑在產(chǎn)物表面的選擇吸附,。

2.5 產(chǎn)物拋光性能測試

分別取一定質量球形、立方塊形和紡錘形 CeO2 粉體,，配制成固含量為 10% 的拋光液,，對高石英玻璃、K9 玻璃和 ZF7 玻璃進行拋光,，記錄 3 次拋光速率的 平均值,，并在暗室內(nèi)用大功率鹵燈觀察玻璃表面光潔度情況。拋光測試結果見表 1,。

表 1 CeO2粉體的拋光性能測試結果

從表 1 中可以看出,，按照玻璃硬度的不同，球形 CeO2 粉體對三種玻璃的切 削力從依次為 ZF7 玻璃>K9 玻璃>石英玻璃,，且拋光后玻璃表面無劃痕,。立方塊 形 CeO2 粉體的切削力很小,，原因是其粒度較小,，且顆粒棱角會對玻璃表面造成 劃傷。紡錘形 CeO2 粉體的切削力居中,，但其紡錘形結構會影響玻璃表面光潔度,。 因此，球形 CeO2 粉體適合低硬度玻璃的超精密拋光,。

 2.6 焙燒溫度對產(chǎn)物拋光性能影響

圖 5 為不同焙燒溫度制備的球形 CeO2 粉體,，對 ZF7 玻璃的拋光速率曲線，從圖中可以看出,，未經(jīng)焙燒的前驅體拋光速率幾乎為零,，說明前驅體通過焙燒才 能獲得一定硬度。隨焙燒溫度升高,，CeO2 粉體拋光速*增后減,，800℃最大，原因可能是,，低溫時,，CeO2 粉體晶化不*，硬度較小,，機械磨削作用低,；溫度過高時，CeO2 晶體表面活性降低,，不能與玻璃表面發(fā)生化學作用,；只有當溫度適宜時,，CeO2 粉體的表面活性和硬度才能達到最佳值，表現(xiàn)出拋光速率最高,。

3 結論

1. 以尿素為沉淀劑,，檸檬酸為表面活性劑，在水熱條件下可以制備球形 CeO2 粉體,，粒度約為 2μm,，且粒度分布均勻。

2. 球形 CeO2 粉體對軟質玻璃的拋光速率高,，拋光后面光潔度高,，且當 焙燒溫度為 800℃時，拋光速率最佳,。

參考文獻：

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