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CVD氣相沉積的材料特性和功能特點介紹
CVD氣相沉積采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和40段程序控溫系統(tǒng),，移相觸發(fā),、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,，管式爐雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫,，采用99剛玉管,、兩端用不銹鋼法蘭密封，用浮子流量計控制進氣流量,、該爐具有溫場均衡,、表面溫度低、升降溫度速率快,、節(jié)能等優(yōu)點,。適用于銅鎢合金,、鋁鎳鈷永磁、釹鐵硼,、碳纖維石墨化,，碳碳復(fù)合材料，碳化硅制品,，鎢鉬及其他合金材料的真空或氣氛高溫?zé)Y(jié),，也可作為其他金屬材料的熱處理及氣相沉積。
CVD氣相沉積爐管為定制下細上粗不銹鋼管,，爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,，石英板的孔徑可單獨定制。粉末可放在多孔石英板上,，氣體從下而上穿過粉末顆粒,，當(dāng)氣流速度達到或超過顆粒的臨界流速時料層中顆粒呈上下翻騰，在一定溫度和氣氛下,，充分反應(yīng)沉積,。
CVD氣相沉積的功能特點：
1、采用純微波加熱,、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，
2,、升溫速率快,，智能控溫，可分段設(shè)置,，控溫穩(wěn)定度好,，熱慣性小。同時加熱多個溫區(qū),，且加熱區(qū)長度可調(diào),。
3、可通各種氣氛,，抽真空有機械泵,、擴散泵和分子泵，可達真空狀態(tài),。
4,、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)）；
5,、保護管采用合金管,，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便,；
6,、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇,，降低溫度；
7,、真空系統(tǒng)：機械泵擴散泵和分子泵,，真空密度計
8、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試,。