箱式氣氛爐是一種實(shí)驗(yàn)設(shè)備,適用于金屬,、納米、單晶硅,、多晶硅,、電池等的擴(kuò)散焊接以及真空氣體保護(hù)下,氣氛熱處理的加熱設(shè)備鉬絲爐,、箱式氣氛爐,、井式氣氛爐、真空管式爐用于材料或化學(xué)實(shí)驗(yàn)室,,在真空或氣氛狀態(tài)下燒結(jié)各種新材料樣品,。
箱式氣氛爐分為以下幾個(gè)部分:
1.爐膛
爐膛采用莫來石聚輕磚砌筑,爐膛內(nèi)上下用碳化硅棚板,,爐內(nèi)溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導(dǎo)(暗火加熱),,溫度更均勻。爐殼密封,。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設(shè)有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度,。進(jìn)氣設(shè)爐膛底部,經(jīng)加熱腔預(yù)熱后分多處進(jìn)入爐內(nèi),,排氣經(jīng)爐頂后部排出,。保證爐內(nèi)氣氛均勻,減小爐內(nèi)溫差,。氣路上裝有氣體流量計(jì),,用于正常使用控制氣氛流量。
2.冷卻
爐門采用循環(huán)式水冷,。設(shè)有進(jìn)出水接頭,。
3.電氣
電氣部分采用與爐體一體化結(jié)構(gòu),整個(gè)電氣元件安裝在爐體底部的一側(cè),,結(jié)構(gòu)緊湊,、占用空間小。
箱式氣氛爐經(jīng)過一段時(shí)間的使用后,爐堂內(nèi)會(huì)留下高溫反應(yīng)時(shí)的雜質(zhì),,所以需要定期的對箱式氣氛爐進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)! 箱式氣氛爐保養(yǎng)主要是清洗爐堂,,清洗爐堂主要有以下二種方法:
1、用保護(hù)氣體趕出爐膛內(nèi)空氣法:
(1)保護(hù)氣體一般應(yīng)在電爐升溫前通入爐內(nèi),;
(2)保護(hù)氣體可通過上,、下,、后三個(gè)洗爐口通入,應(yīng)將排氣口的針閥開至*大,,以利于爐內(nèi)空氣盡快排出,;
(3)一般向爐內(nèi)通入爐膛容積10倍左右的保護(hù)氣體,可使?fàn)t內(nèi)氧濃度降至10ppm左右,;
(4)當(dāng)爐內(nèi)氧濃度符合產(chǎn)品工藝要求時(shí),,可將排氣口的針閥關(guān)小,以節(jié)約保護(hù)氣,關(guān)閉洗爐口,由進(jìn)氣口通過流量計(jì)進(jìn)入,;
(5)在電爐使用過程中,,爐膛內(nèi)必須維持正壓,以防爐外空氣進(jìn)入爐膛,;
2,、用真空泵預(yù)抽真空法:
(1)把前面一個(gè)出氣嘴與真空用軟管連接起來;
(2)對爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空;