經(jīng)典實驗-薄膜/極片-濺射儀鍍膜-機械泵回油檢測報告

實驗名稱: 濺射儀鍍膜-機械泵回油檢測報告

實驗目的：實驗室分別以機械泵、機械泵加冷阱,、愛德華分子泵對濺射腔體進行抽真空并濺射金膜,，并且每組做兩個樣品進行對比,，檢測三種情況下金膜質(zhì)量,。（由客戶反饋科晶實驗室濺射儀做掃描電鏡鍍金效果差,，實驗室分別準備了兩組對比試驗與客戶鍍金樣品進行對比,，并參考對比結(jié)果進行了兩組探究試驗,，詳細內(nèi)容及結(jié)論請參考以下：）

實驗設備：磁控濺射儀VTC-16-SM、機械泵TRP-12,、氬氣,、金靶、冰塊及冷阱,、愛德華分子泵,。

對比案例①：

對比結(jié)論：客戶案例形貌清晰,，溝壑明顯,，能很清楚觀察到樣品腐蝕或拋光的表明形貌；科晶實驗室案例中腐蝕與拋光形貌都比較模糊,，難以分辨,。

對比案例②：

對比結(jié)論：客戶所做案例球形態(tài)清晰,，顆粒與顆粒間分界清晰，實驗室所做三組案例,，雖然冷阱（第2組）及干泵（第3組）的效果略比油泵（第1組）效果改善,，但是對比客戶的案例仍有很大差距，所以實驗室做了以下對比：三種工況下鍍金金膜質(zhì)量（濺射儀使用機械泵TRP-12,、濺射儀使用機械泵TRP-12加冷阱,、濺射儀使用愛德華分子泵）：

探究案例①：（科晶實驗室案例）

案例①總結(jié)：三組6個樣品,，從每個樣品上雜質(zhì)的總數(shù)量來看，效果：干泵（第3組）效果>油泵+冷阱（第2組）>油泵（第1組）,，其中第三組單位面積污點數(shù)量最少,，膜的平整最好（三組情況金膜顏色不同，為不同濾鏡下觀察,，表面形貌表征的金膜顏色與金膜質(zhì)量無關(guān)）

探究案例②：（實驗室案例）

案例②總結(jié)：從三組6個樣品中看出,，干泵（第3組）效果>油泵+冷阱（第2組）>油泵（第1組）,，其中第三組單位面積污點數(shù)量最少，由此看出冷阱對鍍膜的效果改善比較的明顯,，干泵鍍膜質(zhì)量好,。

實驗總結(jié)：結(jié)合案例①結(jié)論,、案例②結(jié)論綜合判定，冷阱,、干泵方案均可提升鍍膜質(zhì)量,，且干泵提升膜質(zhì)量效果最為明顯。