真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,，具體包括很多種類,，包括真空離子蒸發(fā),，磁控濺射,，MBE分子束外延,，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種,。真空鍍膜機設(shè)備中的擴散泵連續(xù)使用6個月以上,，抽速就會明顯變慢，或操作失當,，充入大氣,，拆去聯(lián)結(jié)水管,，卸下電爐盤，將一級噴嘴擰出,，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水*清洗干凈,，待水份揮發(fā)干以后,，裝好泵膽，加入新擴散泵油,，并裝回機體,，接好水管，裝好電爐盤,，便可以重新開機,。在重新開機前,，要注意檢漏工作,。啟動維持泵，關(guān)好大門,，數(shù)分鐘后,，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏,。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,，否則擴散泵油會燒環(huán),，無法進入工作狀態(tài)。

　　真空鍍膜機設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上,，應(yīng)清潔工作室一次,。用燒堿（NaOH）飽和溶液反復擦洗真空室內(nèi)壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng),，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣,，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢,。

　　當真空鍍膜機（真空鍍膜設(shè)備）粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半）,，需更換新油,。將泵內(nèi)的舊油*排放出來。擰回放油螺栓,，加入新油至額定量（油視鏡觀察）,。連續(xù)使用半年以上,，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢,。