3靶等離子濺射儀的使用分3個步驟，即裝樣品,、抽真空,、濺射，待廠家為您一一講解：

　　一,、裝樣品
　　1,、充氣：打開充氣旋鈕，使得空氣進入鐘罩,。
　　2,、開電源總開關(guān),，接通電源。
　　3,、升鐘罩：將“升"開關(guān)撥到下方,，待鐘罩升到合適位置時，按住“停"按鈕,，鐘罩停止上升,，將“升"開關(guān)撥回到上方。
　　4,、放樣品：將放有樣品的載物臺固定到鐘罩中,。
　　5、降鐘罩：按一下“降"按鈕,，鐘罩開始往下降,，降到適當(dāng)?shù)奈恢檬沟苗娬置芊鈺r自動停止。（注意,，在鐘罩將要降到底時可以在前邊稍往上抬鐘罩,，以保證鐘罩的密封效果，利于后面的真空抽取,。）
　　6,、將充氣旋鈕旋緊。
　　二,、抽真空
　　1,、抽低真空：樣品裝好后，再一次確認(rèn)充氣旋鈕已旋緊,。然后將電源開關(guān)旋鈕打到機械泵,，打開低真空計。
　　2,、（逆時針）旋轉(zhuǎn)管道閥門Ⅰ,，在旋轉(zhuǎn)到zui滿時回旋1-2圈；過一會后（一般這時候真空機壓強在10Pa左右）,，逆時針旋轉(zhuǎn)打開管道閥門Ⅱ,。
　　3、上面步驟完成后,，機械泵抽一段時間后,，當(dāng)真空計讀數(shù)在6-5Pa左右時，可打開擴散泵,。
　　4,、通冷卻水，再將電源開關(guān)旋到擴散泵,。
　　5,、約半小時后,，關(guān)閉管道閥門Ⅰ，（逆時針,、打開打開擴散泵旋鈕（至滿回旋1-2圈,、。這時候低真空計壓強將會突然變大,，待壓強再一次回到
　　10Pa后,，打開高真空計（方法看下一步、,。
　　6,、抽高真空：按下高真空計電源開關(guān)，再按下燈絲按鈕,；將壓強檔打到10-1檔,，抽真空到壓強小于1×10-1Pa時，可打到10-2檔,，依次類推，知道滿足自己的需要（一般zui大能達(dá)到×10-3檔,、,。
　　三、濺射
　　1,、先講濺射裝置打開,，有加速電壓、中和電壓,、陰極電流和陽極電壓,。（注意還有外接的毫安表，這是用來測試流過靶材的電流,。,、
　　2、先將真空計回旋一檔（×10-2,、,，通A氣，當(dāng)達(dá)到滿足的要求時位置（通氣時要慢慢的旋轉(zhuǎn)通氣旋鈕,，防止通氣忽大忽小不易控制,。、
　　3,、調(diào)加速電壓（如200V）,，屏級電壓（如1000V），陰極電流（如12A）和陽極電壓（如55V）進行濺射,。（調(diào)劑經(jīng)驗：在加速電壓調(diào)好后,，先調(diào)節(jié)屏級電壓到要求值,，然后調(diào)節(jié)陰極電流和陽極電壓到比預(yù)定值稍小，zui后通過協(xié)調(diào)這三個旋鈕調(diào)出束流,。一般調(diào)出束流后,，屏級電壓調(diào)至合適就不要再跳，陰極電流對束流的影響較大,，當(dāng)束流合適后,，也不易再跳，主要通過陽極電壓來控制束流為一定值,。）
　　4,、濺射到要求時間后，將陰極電流,、陽極電壓和屏級電壓旋到zui小,，等到屏級電壓顯示值為零時，關(guān)閉他們對應(yīng)的電源開關(guān),。
　　5,、將高真空計檔打到10-1檔，關(guān)高真空計燈絲和電源開關(guān),，關(guān)低真空計,。
　　6、旋緊擴散泵旋鈕,，將電源開關(guān)由擴散泵打到機械泵,，繼續(xù)通冷卻水。
　　7,、待大約半小時以后,，擴散泵冷卻，關(guān)閉機械泵,，關(guān)總電源開關(guān),，關(guān)冷卻水。