靶磁控濺射儀在真空狀態(tài)下采用電弧放電和輝光放電工作原理，金屬和非金屬工件的表面鍍有金氮化鈦,，黑碳化鈦,，彩色氮氧化鈦等，也可以涂防腐膜（如AL,，Cr不銹鋼和TiN等）和耐磨膜,，膜層牢固地結(jié)合到基板上。濺射工藝用于涂覆以改善膜的粘附性,，可重復(fù)性,，密度和均勻性度等特點(diǎn),，適用于塑料制品，陶瓷,，樹脂,，水晶玻璃制品，工藝品,，塑料手機(jī)殼,，電子產(chǎn)品，建材等行業(yè),，具有良好的發(fā)展前景,。

　　靶磁控濺射儀處理六個(gè)常見問題及改進(jìn)對(duì)策：

　　1、漆膜為黑色和黑色

　?。?/font>1）真空度小于0.67Pa,。真空度應(yīng)提高到0.13-0.4Pa。

　?。?/font>2）氬氣的純度小于99.9％,。應(yīng)該用純度為99.99％的氬氣代替。

　?。?/font>3）充氣系統(tǒng)正在泄漏,。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng)以消除空氣泄漏。

　?。?/font>4）底漆未充分固化,。底漆的固化時(shí)間應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)。

　?。?/font>5）鍍層零件的脫氣量太大,。應(yīng)當(dāng)進(jìn)行干燥和密封處理。

　　2,、膜層的表面光澤較暗

　?。?/font>1）底漆固化不良或變質(zhì)。底漆的固化時(shí)間應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)或應(yīng)更換底漆,。

　?。?/font>2）濺射時(shí)間過長(zhǎng)。應(yīng)適當(dāng)縮短,。

　?。?/font>3）濺射成膜速度過快。濺射電流或?yàn)R射電壓應(yīng)適當(dāng)降低

　　3,、薄膜顏色不均勻

　?。?/font>1）底漆噴涂不均勻。底漆的使用方法應(yīng)加以改進(jìn)。

　?。?/font>2）薄膜層太薄,。適當(dāng)?shù)卦黾訛R射速度或延長(zhǎng)濺射時(shí)間。

　?。?/font>3）燈具設(shè)計(jì)不合理,。夾具設(shè)計(jì)應(yīng)加以改進(jìn)。

　?。?/font>4）電鍍零件的幾何形狀太復(fù)雜。鍍層零件的旋轉(zhuǎn)速度應(yīng)適當(dāng)提高,。

　　4,、薄膜起皺并破裂

　　（1）底漆噴涂得太厚,。應(yīng)控制在7-10tan厚度范圍內(nèi),。

　　（2）涂料的粘度太高,。應(yīng)適當(dāng)減少,。

　　（3）蒸發(fā)速度太快,。應(yīng)該適當(dāng)放慢速度,。

　　（4）膜層太厚,。濺射時(shí)間應(yīng)適當(dāng)縮短,。

　　（5）鍍層部分的溫度太高,。鍍層部件的加熱時(shí)間應(yīng)適當(dāng)縮短,。

　　5、薄膜表面上有水印,，指印和灰塵顆粒,。

　　（1）清潔后,，鍍層部件不帶電,。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。

　?。?/font>2）水滴或唾液濺到電鍍部件的表面,。要加強(qiáng)文明生產(chǎn)，操作人員要戴kz,。

　?。?/font>3）涂上底漆后，用手觸摸鍍層部分，在表面上留下指紋,。嚴(yán)禁用手觸摸鍍層部件的表面,。

　　（4）油漆中有顆粒,。油漆應(yīng)過濾或更換,。

　　（5）靜電除塵器發(fā)生故障,，或者在噴涂和固化環(huán)境中出現(xiàn)顆?；覊m。應(yīng)更換集塵器,，并保持工作環(huán)境清潔

　　6,、靶磁控濺射儀膜的附著力差

　　（1）鍍層零件的脫脂和脫脂未完成,。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理,。

　　（2）真空室不干凈,。應(yīng)當(dāng)清潔真空室,。值得注意的是，在裝卸靶材過程中,，嚴(yán)禁用手或不潔物體接觸磁控管源,，以確保磁控管源具有較高的清潔度，這對(duì)于提高結(jié)合力非常重要,。電影的措施之一,。

　　（3）夾具不干凈,。夾具應(yīng)清潔,。

　　（4）底漆選擇不當(dāng),。應(yīng)更換油漆,。

　　（5）濺射工藝條件控制不當(dāng),。濺射工藝條件應(yīng)改善,。