層壓材料表面電阻率測試儀

一,、概述：

BEST-121電阻率試驗儀既可測量高電阻，又可測微電流,。采用了美國Intel公司的大規(guī)模集成電路,使儀器體積小,、重量輕準(zhǔn)確度高。數(shù)字液晶直接顯示電阻值和電流,。量限從1×104Ω ～1×1018 Ω,，是目前國內(nèi)測量范圍較寬，準(zhǔn)確度較高的數(shù)字超高阻測量儀,。電流測量范圍為2×10-4 ～1×10-16Ａ,。機(jī)內(nèi)測試電壓10V/50V/100V/250V/500V/1000V任意可調(diào)。電阻率試驗儀具有精度高,、顯示迅速,、性好穩(wěn)定、讀數(shù)方便,。電阻率試驗儀適用于橡膠,、塑料、薄膜,、地毯,、織物及粉體、液體,、及固體和膏體形狀的各種絕緣材料體積和表面電阻值的測定,。

層壓材料表面電阻率測試儀

二、符合標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 1410-2006《 固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗方法》

ASTM D257-99《絕緣材料的直流電阻或電導(dǎo)試驗方法》

GB/T 10581-2006 《絕緣材料在高溫下電阻和電阻率的試驗方法》

GB/T 1692-2008 《硫化橡膠 絕緣電阻率的測定》

GB/T 2439-2001《硫化橡膠或熱塑性橡膠 導(dǎo)電性能和耗散性能電阻率的測定》

GB/T 12703.4-2010 《紡織品 靜電性能的評定 第４部分：電阻率》

GB/T 10064-2006_《測定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗方法》

三,、技術(shù)指標(biāo)

1,、電阻測量范圍：1 ×104Ω ～1×1018Ω。

2,、電流測量范圍：2×10-4A～1×10-16A

3,、顯 示 方 式： 32位LED液晶屏顯示

4、內(nèi)置測試電壓： 10V ,、50V,、100V,、250、500,、1000V

5,、基本準(zhǔn)確度：1%

6、使用環(huán)境： 溫度：0℃～40℃,，相對濕度<80%

7,、機(jī)內(nèi)測試電壓： 10V/50V/100/250/500/1000V

8、供電形式： AC 220V,，50HZ,，耗電5W

9、儀器尺寸： 285ｍｍ× 245ｍｍ× 120 mm

10,、質(zhì)量： 約2.5KG
四,、技術(shù)指標(biāo)
1. 電阻測量范圍： 1×104Ω ～1×1018Ω，分為十個量程,。
2. 電流測量范圍為2×10-4A ～1×10-16A
3. 全數(shù)字液晶屏顯示,。
4. 準(zhǔn)確度: 準(zhǔn)確度優(yōu)于下表
量程 有效顯示范圍 20～30℃ RH<80%
104 0.01~19.99 5%
105 0.01～19.99 5%
106 0.01～19.99 5%
107 0.01～19.99 5%
108 0.01～19.99 5%
109 0.01～19.99 5%
1010 0.01～19.99 5%+2字
1011 0.01～19.99 5%+2字
1012 0.01～19.99 5%+5字
1013 0.01～19.99 10%+5字
1014 0.01～19.99 10%+5字
1014以上 0.01～19.99 10-15%+5字
5. 使用環(huán)境: 溫度 -10℃～50℃ 相對濕度<90%。
6. 測試電壓: DC10V,、50V,、100V、250V,、500V,、1000V。±10%
7. 供電形式: AC 220V,，50HZ,，功耗約10W。
8. 儀器尺寸: 300ｍｍ× 280ｍｍ× 150 mm,。
9. 質(zhì)量: 約3.0KG,。

五、顯示方式

超大觸摸彩屏顯示 可直接讀取電阻和電阻率,。 內(nèi)置軟件測試系統(tǒng)測試式樣可選擇儀器自動分配計算,。

顯示指標(biāo) ：電壓、電流,、電阻,、電阻率及式樣

標(biāo)準(zhǔn)配置：

1、測試儀器：1臺

2,、.電源線：1條

3,、測量線：3根（屏蔽線、測試接線,、接地線）

4,、使用說明書：1份

ASTM D257-2014

本標(biāo)準(zhǔn)是以固定代號D257發(fā)布的,。其后的數(shù)字表示原文本正式通過的年號；在有修訂的情況下,，為上一次的修訂年號；圓括號中數(shù)字為上一次重新確認(rèn)的年號,。上標(biāo)符號（ε）表示對上次修改或重新確定的版本有編輯上的修改,。
本標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)批準(zhǔn)用于國防部所有機(jī)構(gòu)。
六,、電阻率測定儀范圍
6.1 本試驗方法包含直流絕緣電阻，體積電阻和表面電阻的測量所用直流程序,。通過該測量及樣本和電極的幾何尺寸,，可以計算出電絕緣材料的體積電阻和表面電阻，同時還可以計算出相應(yīng)的電導(dǎo)和電導(dǎo)率,。

6.2 這些試驗方法不適用于測量中等導(dǎo)電材料的電阻/電導(dǎo),。這些材料評估可采用試驗方法D4496。

6.3 本標(biāo)準(zhǔn)描述了幾種可選擇的測量電阻（或電導(dǎo)）的普通備用方法,。特殊材料科采用合適的標(biāo)準(zhǔn)ASTM試驗方法進(jìn)行測試,，這些特殊材料具有電壓應(yīng)力范圍和有限起電時間，同時規(guī)定了樣本結(jié)構(gòu)和電極幾何形狀,。這些個別特殊試驗方法將能更好得定義測量值的精度和偏差,。

6.4 本標(biāo)準(zhǔn)并沒有*列舉所有的安全聲明,，如果有必要,，根據(jù)實際使用情況進(jìn)行斟酌,。使用本規(guī)范前,，使用者有責(zé)任制定符合安全和健康要求的條例和規(guī)范，并明確該規(guī)范的使用范圍,。

七,、電阻率測定儀引用文件
   ASTM標(biāo)準(zhǔn)：²
　 D150　　固體電絕緣材料的（恒定電介質(zhì)）的交流損耗特性和介電常數(shù)的測試方法

D374　　固體電絕緣材料厚度的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法（2013年撤消）³

D1169　　電絕緣液電阻率(電阻系數(shù))試驗方法

D1711　　電絕緣相關(guān)術(shù)語

D4496　　中等導(dǎo)電材料直流電阻或電導(dǎo)的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法

D5032　　用飽和甘油溶液方式維持恒定相對濕度的規(guī)程

D6054　　測試用電工絕緣材料的調(diào)節(jié)規(guī)程（2012年撤消）³

E104　　　用水溶液保持恒定相對濕度的規(guī)程

八,、 電阻率測定儀試驗方法的摘要

材料樣本或電容器的電阻或電導(dǎo)通過在規(guī)定條件下測量電流或電壓下降而得出,。通過使用合適的電極體系，可分別測量表面和體積電阻或電導(dǎo),。當(dāng)要求的樣本和電極尺寸已知時,，此時可以計算出電阻或電導(dǎo),。

九、 電阻率測定儀重要性和用途

絕緣材料用于電子系統(tǒng)彼此和與地面之間隔離,，該材料能提供零部件的機(jī)械支撐,。由于此用途，通常要求具有盡可能高的絕緣電阻,，以與可接受的機(jī)械,、化學(xué)和耐熱性能*。因為絕緣電阻或電導(dǎo)組合了體積和表面電阻或電導(dǎo),，當(dāng)實際使用時,，要求試驗樣本和電有相同的形式，此時的測量值是非常有用的,。表面電阻或電導(dǎo)隨著濕度發(fā)生快速變化,，然而體積電阻或電導(dǎo)則稍微變化，盡管總的變化在一些變化可能更大,。

　電阻或電導(dǎo)可用于間接預(yù)測某些材料的低頻率電介質(zhì)擊穿和損耗因數(shù)性能,。電阻或電導(dǎo)通常作為濕度含量，固化程度,，機(jī)械連續(xù)性或不同類型老化的間接測量方式,。這些間接測量的效用取決于通過理論或經(jīng)驗研究確立的相關(guān)度。表面電阻的降低可導(dǎo)致因為電場強(qiáng)度降低而發(fā)生電介質(zhì)擊穿電壓的增加,，或者由于應(yīng)力面積的增加而發(fā)生電介質(zhì)擊穿電壓的降低,。

　所有的電介質(zhì)電阻或電導(dǎo)都取決于電化時間長短和施加的電壓值（除了普通的環(huán)境變量之外）。這些因素必須已知,，同時報告,，以使得電阻或電導(dǎo)測量值有意義。在電絕緣材料工業(yè)中,，形容詞“表觀”通常適用于在任意選擇電化時間條件下獲得的電阻值,。見X1.4。

體積電阻或電導(dǎo)可通過在特定應(yīng)用場合設(shè)計某個絕緣體使用的電阻和尺寸數(shù)據(jù)計算得出,。研究已經(jīng)表明電阻或電導(dǎo)隨著溫度和濕度的變化而變化（1,2,3,4）⁴,，同時在設(shè)計工作條件時，必須已知這種變化,。體積電阻或電導(dǎo)測量值通常用于檢查絕緣材料的均勻性,，或者對于加工，可探測影響材料質(zhì)量的導(dǎo)電雜質(zhì),，而這不容易通過其它方法觀察到,。

體積電阻超過10²¹Ω·cm(10¹⁹Ω·cm)時，樣本在普通實驗室條件測試獲得的數(shù)值計算得出體積電阻,，如果結(jié)果確實可疑,，則應(yīng)考慮通常使用的測量設(shè)備的局限性,。

　表面電阻或電導(dǎo)不能準(zhǔn)確測量，只能近似測量,，因為體積電阻或電導(dǎo)總是受到測量方法的影響,。測量值還受到表面污染的影響。表面污染及其積聚速度受到許多因素的影響,，包括靜電充電和界面張力,。這些因素反過來可以影響表面電阻。當(dāng)包括污染,，但是在通常常識下判斷不是電絕緣材料的材料性能時,，此時表面電阻或電導(dǎo)可視為與材料性能相關(guān),。

十,、 電阻率測定儀電極系統(tǒng)

　絕緣材料的電極將允許親密接觸樣本表面，同時不會由于電極電阻或樣本的污染（5）而引入相當(dāng)可觀的誤差,。電極材料應(yīng)在試驗條件下能耐腐蝕,。當(dāng)對制造樣本進(jìn)行測試時，例如連接襯套,，線纜等等,，采用的電極作為樣本或其裝配組件的一部分。在這類場合,，絕緣電阻或電導(dǎo)的測量值此時包括電極或安裝材料的污染影響,，同時在實際使用時通常與樣本性能有關(guān)

十一、電阻率測定儀裝置和試驗方法的選擇

電源——要求采用穩(wěn)定的直流電壓電源,。蓄電池或其它穩(wěn)定直流電壓電源已經(jīng)證明適用于該用途,。

保護(hù)回路——不管是采用兩個電極（沒有保護(hù)）測量絕緣材料的電阻，或者是采用三個終端系統(tǒng)（兩個電極加上保護(hù)）測量絕緣材料的電阻,，都要考慮怎樣在試驗設(shè)備和試驗樣本之間進(jìn)行電連接,。如果試驗樣本遠(yuǎn)離試驗設(shè)備一段距離，或者試驗樣本在濕熱條件下進(jìn)行測試,，或者樣本電阻預(yù)期相對比較高（10¹⁰～10¹⁵ohms）,，則試驗設(shè)備和試驗樣本之間可能容易存在虛假的電阻通路。有必要采用保護(hù)回路來使得這些虛假通路的干涉降至較低,。

帶保護(hù)電極——使用同軸電纜,，其芯部通向保護(hù)電極，屏蔽端通向保護(hù)電極,，以使得試驗設(shè)備和試驗樣本之間獲得適當(dāng)?shù)谋Ｗo(hù)連接,。

沒有保護(hù)電極——使用同軸電纜，芯部通向某一電極,，屏蔽端端接到從芯部末端大約1cm處,。

　直接測量——采用任何設(shè)備（設(shè)備具有±10%的靈敏度和精度）測量在固定電壓下通過樣本的電流,。適用的電流測量設(shè)備包括靜電計，帶指示器的直流放大器,，和電流計,。典型方法和回路見附錄X3規(guī)定。當(dāng)校準(zhǔn)測量設(shè)備刻度盤來直接讀取歐姆電阻值時,，則不要求計算電阻測量值,。

　比較法——惠斯登電橋回路可采用標(biāo)準(zhǔn)電阻器電阻來比較樣本電阻。

十二,、 直接測量：

電流計-電壓表——采用電流計-電壓表方法測量電阻的較大百分比誤差是電流計指示性,，電流計可讀性和電壓表指示性的百分比誤差總和。一個示例是：當(dāng)500V施加到40GΩ電阻時（電導(dǎo)為25pS）,，靈敏度為500/pA刻度的電流計將偏離25個刻度,。如果偏離可讀取到接近0.5個刻度時，同時校準(zhǔn)誤差（包括埃爾頓頓分流誤差）為觀測值的±2%,，較終的電流計誤差將不超過±4%,。如果電壓表誤差為±2%的滿刻度，當(dāng)電壓表讀取滿刻度時,，可采用±6%較大誤差來測量該電阻值,；同時當(dāng)讀取1/3的滿刻度時，可采用±10%較大誤差來測量該電阻值,。要求讀取接近滿刻度是容易顯而易見的,。

　電壓表-電流表——計算值的較大百分比誤差是指電壓V_x，V_s和電阻R_s的百分比誤差的總和,。與特定方法相比,，V_s和R_s的誤差通常更取決于采用設(shè)備的特征。確定V_s誤差的較關(guān)鍵因素是指示器誤差,，放大器零漂移和放大器增益穩(wěn)定性,。采用新式精心設(shè)計放大器或靜電計，增益穩(wěn)定性通常不是關(guān)注的問題,。采用現(xiàn)有的技術(shù),，直流電壓放大器或靜電計的零漂移不能夠排除，但是可以將之足夠低而成為這些測量的相對不關(guān)鍵因素,。只要精心設(shè)計換流器型放大器,，零漂移實際上不存在。因此,，假如電位計電壓準(zhǔn)確已知的話,，圖X1.2（b）的零位法理論上比采用指示器的方法誤差更小。Rs的誤差取決于放大器靈敏度。當(dāng)在給定電流下測量時,，放大器靈敏度越高,，較低值可能性越大，此時可使用高精密線纏繞標(biāo)準(zhǔn)電阻器,。放大器可以獲得,。已知準(zhǔn)確到±2%的100GΩ標(biāo)準(zhǔn)電阻是可以適用的。當(dāng)施加500V時,，如果放大器或靜電計的10mV輸入能提供滿刻度偏移,，誤差不大于2%的滿刻度，則可采用6%的較大誤差（當(dāng)電壓計讀取滿刻度時）或10%的較大誤差（當(dāng)電壓計讀取1/3刻度時）來測定5000TΩ的電阻,。

比較-電流計——計算電阻或電導(dǎo)的較大百分比誤差是指Rs,，電流計偏移或放大器讀數(shù)的百分比誤差總和，同時假設(shè)電流靈敏度與偏移無關(guān),。對于新式電流計（直流電流放大器可能發(fā)生1/3刻度偏移）,，后者的假設(shè)精度到±2%有用范圍之內(nèi)（在1/10滿刻度偏移之上）。Rs的誤差取決于采用的電阻器類型,，但是1MΩ電阻的誤差極限低至0.1%是適用的,。對于滿刻度偏移,，采用靈敏度為10nA的電流計或直流電流放大器,，500V施加到5TΩ電阻上將能產(chǎn)生1%的偏移。在該電壓處,，采用先前標(biāo)記的標(biāo)準(zhǔn)電阻器,，F(xiàn)s=10⁵，ds將大約為1/2的滿刻度偏移,，可讀性誤差不大于±1%,。如果d_x大約為1/4滿刻度偏移，可讀性誤差將不超過±4%,，同時可以在±5-1/2%較大誤差下測量200GΩ電阻,。

　電壓變化速率——測量精度直接與施加電壓和電流計讀數(shù)變化的時間率測量精度成比例。靜電計開關(guān)打開的時間長短和采用的刻度應(yīng)使得可以準(zhǔn)確測量時間,，同時可獲得滿刻度讀數(shù),。在這些條件下，精度將與其它測量電流方法的精度相當(dāng),。

　比較電橋——當(dāng)探測器具有適當(dāng)?shù)撵`敏度,，電腦電阻的較大百分比誤差是指臂A，B和N的百分比誤差總和,。當(dāng)采用1　mV/分刻度的探測器靈敏度時,，500V電壓施加到電橋上，R_N=1GΩ,，電阻為1000TΩ將能產(chǎn)生一個分刻度的探測器偏移,。假設(shè)忽略R_A和R_B的誤差,，已知R_N=1GΩ在±2%之內(nèi)，同時電橋平衡在一個探測器分刻度,，可采用±6%的較大誤差來測量100TΩ的電阻,。

幾個制造商可提供必要的滿足本方法要求的零件或系統(tǒng)。

當(dāng)樣本具有實際用途要求的形狀,，電極和安裝方式時,，測量值為較大值。襯套,，電纜和電容器為典型示例,，在這些示例中，試驗電極作為樣本的一部分,，同時采用標(biāo)準(zhǔn)的安裝方式,。

對于固體材料，樣本較常用形狀為扁平厚板,，條帶,，條料和管材。電極布置可應(yīng)用于扁平厚板,，條料或內(nèi)徑大約為20mm或更大的剛性管子,。電極布置可應(yīng)用于板材帶材或撓性條帶。對于剛性帶材樣本,，金屬支撐可以不作要求,。的電極布置可應(yīng)用于扁平厚板，條料或管材,。

體積電阻或電導(dǎo)測定：

試驗樣本形狀應(yīng)允許使用第三個電極,，當(dāng)必要時，以避免來自表面效應(yīng)的誤差,。試驗樣本可為扁平厚板,，條帶或管子形狀。顯示了厚板或薄板樣本的電極應(yīng)用和布置,。三個電極作用到管子樣本的徑向橫截面,，在圖中，前列電極為被保護(hù)電極,；No.2電極為保護(hù)電極,，在前列電極每一端包含一個環(huán)圈，兩個環(huán)圈電子連接,；No.3電極為非保護(hù)電極（7,8）,。對于忽略表面泄漏的材料，只檢查體積電阻，可忽略使用保護(hù)環(huán)圈,。圖4適用于3mm厚樣本尺寸如下：D₃=100mm,，D₂=88mm和D₁=76mm，或者作為一種選擇,，D₃=50mm,，D₂=38mm和D₁=25mm。對于某一給定靈敏度,，較大樣本允許在較高電阻材料上進(jìn)行更加準(zhǔn)確測量,。

依據(jù)待測試材料，按試驗方法D374的某種方法測量樣本的平均厚度,。實際測量點應(yīng)均勻分布在測量電極包括的區(qū)域內(nèi),。

當(dāng)要求測定體積電阻或電導(dǎo)時，被保護(hù)電極（前列）應(yīng)允許計算被保護(hù)電極的有效面積,。圓形電極的直徑,，正方形電極邊長或者矩形電極的較短邊長應(yīng)至少為4倍的規(guī)定厚度。間隙寬度應(yīng)足夠大,，以使得前列電極和No.2電極之間的表面泄漏不會導(dǎo)致測量誤差（這對高輸入阻抗設(shè)備尤其重要,，例如靜電計）。如果按照9.3.3的建議間距等于兩倍的樣本厚度,，以使得樣本可以用于測定表面電阻或電導(dǎo),，此時可足夠準(zhǔn)確測定前列電極的有效面積。如果需要更準(zhǔn)確測定前列電極的有效面積,，可從附錄X2獲得間距寬度修正值,。No.3電極應(yīng)在所有點可延伸到No.2電極內(nèi)側(cè)邊緣至少兩倍的樣本厚度,。

對于管狀樣本,，前列電極應(yīng)包圍樣本外側(cè)，同時電極軸向長度應(yīng)至少為4倍的樣本壁厚,。間距寬度相關(guān)考慮與9.2.3所述相同,。No.2電極包含管子每一端的包圍電極，兩個零件通過外部方式進(jìn)行電子連接,。每一個零件的軸向長度應(yīng)至少為2倍樣本的壁厚,。No.3電極必須包括樣本的內(nèi)表面，軸向長度延伸到外側(cè)間隙邊緣,，延伸距離至少為兩倍的壁厚,。管狀樣本可采用絕緣導(dǎo)線或電纜形狀。如果電極長度大于100倍的絕緣材料厚度,，被保護(hù)電部效應(yīng)可以忽略,，同時保護(hù)電極的精細(xì)間距不作要求。因此，當(dāng)水作為前列電極,，前列和No.2電極之間的間距可為幾厘米,，以允許這些電極之間的表面電阻足夠。在這種場合,，不對間距寬度進(jìn)行修正,。

試驗樣本可為與特定目的*的任何可行形狀，例如扁平厚板,，條帶或管子,。布置設(shè)計用于已知體積電阻比表面（2）電阻相對高的場合。然而,，對于剛性帶狀樣本,，這些模壓和機(jī)加工表面組合使得獲得的結(jié)果通常無效。

十三,、電阻率測定儀樣本安裝

測量時安裝樣本時,，電極之間或者測量電極和地面之間沒有導(dǎo)電通路是非常重要的（9）。避免用裸手處理絕緣表面,，而是應(yīng)該穿戴醋酸人造纖維手套,。對于體積電阻或電導(dǎo)的仲裁實驗，在調(diào)節(jié)之前采用合適溶劑清洗表面,。當(dāng)要測量表面電阻時,，可互相協(xié)定是否應(yīng)清洗表面。如果要求清洗,，記錄任何表面清洗的詳細(xì)信息,。

十四、　電阻率測定儀步驟

絕緣電阻或電導(dǎo)——在試驗箱中正確安裝樣本,。如果試驗箱和調(diào)節(jié)試驗箱相同（推薦步驟）,，應(yīng)在調(diào)節(jié)開始之前安裝樣本。采用具有要求靈敏度和精度的設(shè)備進(jìn)行測量（見附錄X3）,。除非另有規(guī)定,，采用60s的電化時間，500±5V的作用電壓,。

體積電阻或電導(dǎo)——測量和記錄電極尺寸,，保護(hù)間距寬度g。計算電極的有效面積,。采用具有要求靈敏度和精度的設(shè)備進(jìn)行電阻測量,。除非另有規(guī)定，采用60s的電化時間,，500±5V的作用直流電壓,。

表面電阻或電導(dǎo)：

測量電極尺寸,，電極之間距離g。采用具有要求靈敏度和精度的設(shè)備測量前列和2電極之間的表面電阻或電導(dǎo),。除非另有規(guī)定,，采用60s的電化時間，500±5V的作用直流電壓,。

當(dāng)使用的電極布置,，P視為樣本橫截面的周長。對于薄樣本,，例如條帶,，周長能有效降低至兩倍的樣本寬度。

當(dāng)使用的電極布置,，同時如果與表面電阻（例如濕氣污染絕緣材料表面）相比,，已知體積電阻非常高時，P視為兩倍的電極長度或者兩倍的圓柱體周長,。

十六,、電阻率測定儀報告

16.1 報告所有以下信息：

16.1.1 材料描述和標(biāo)識（名稱，等級,，顏色,，制造商等等）。

16.1.2 試驗樣本的形狀和尺寸,。

16.1.3 電極的類型和尺寸,。

16.1.4 樣本調(diào)節(jié)（清洗，預(yù)干燥,，在濕度和溫度下的調(diào)節(jié)時間等等）,。

16.1.5 試驗條件（測量時的試樣溫度，相對濕度等）,。

16.1.6 測量方法,。

16.1.7　作用電壓。

16.1.8　測量的電化時間,。

16.1.9　相應(yīng)電阻測量值（單位為歐姆）或電導(dǎo)（單位為西門子）,。

16.1.10　當(dāng)要求時，體積電阻計算值（單位為歐姆-厘米）,，體積電導(dǎo)計算值（單位為西門子/厘米），表面電阻計算值（單位為歐姆（每平方））或表面電導(dǎo)計算值（單位為西門子（每平方））,。

16.1.11 說明報告值是否為“表觀”或者“穩(wěn)定狀態(tài)”,。

16.1.11.1　在測試用后者75%特定電化時間期間，只有回路中的電流數(shù)值變化保持在±5%之內(nèi),，才可獲得“穩(wěn)定狀態(tài)”值,。在任何其他情況下進(jìn)行的測試視為“表觀”,。

十七、電阻率測定儀關(guān)鍵詞

直流電阻測試儀,；絕緣電阻測試儀,；表面電阻測試儀；表面電阻率測試儀,；體積電阻測試儀,；體積電阻率測試儀。