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氣體質(zhì)量流量控制器&氣體流量計(jì)
HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求,。所有產(chǎn)品都擁有高精度,、快速響應(yīng)的特性,。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍,，客戶可選擇適合的類型,。我們可提供三種閥門,，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門,、或者壓電陶瓷閥,。HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器
S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為 MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。
S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）
特點(diǎn)： ☆工作壓力范圍寬,，氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu),，氣密材料采用 VITON®,、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體,。線路板,、閥體、彈等為重要零部件,，均執(zhí)行 嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn),。 ☆具有精度高、重復(fù)性好,、軟啟動(dòng),、工作穩(wěn)定可靠。
☆電氣操作控制顯示,，使用方便,。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀,，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì) 量,。
S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制,；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備,；
環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備,；
化工、石化,、食品,、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制,；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制,；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。
S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品規(guī)格
質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）由質(zhì)量流量傳感器,，分流器通道,，流量控制調(diào)節(jié) 閥和放大控制電路等部件組成。 本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分 布效應(yīng)而制成,，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）,。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的 影響,。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得 的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門,，通過閉環(huán),，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定 的流量相等。
HORIBA S48/32質(zhì)量流量控制器