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型號(hào);
SEC-N112MGRW SEC-N22MGM SEC-N122MGRW SEC-N112JM SEC-N122JM SEC-N132JM SEC-N142JM
SEC-N176R（1000SLM） SEC-N114MGM SEC-N124MGM SEC-N134MGM SEC-N116MGRW SEC-N126MGRW
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
概要
氣體質(zhì)量流量控制器&氣體流量計(jì)
HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求,。產(chǎn)品都擁有高精度,、快速響應(yīng)的特性,。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍,，客戶可選擇適合的類型,。我們可提供三種閥門,，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門,、或者壓電陶瓷閥,。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式,、數(shù)字式,、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取決于產(chǎn)品型號(hào))。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至chao大流量,。
*1Devicenet是一種通訊方式的標(biāo)志,。
*2PROFIBUS是一種化的通訊方式標(biāo)志,。
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?？蓪?shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM,。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®）,，高精度（± 1.0% S.P. *1）,，快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能,，有效減少客戶成本,。
*1包括SEC-N177R
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程,，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
規(guī)格
型號(hào) | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范圍 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范圍 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%設(shè)定流量（設(shè)定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（設(shè)定流量≤30%全流量） | |||
響應(yīng)速度 | ≤1秒 | |||
氣路材質(zhì) | SUS 316L,PTFE,磁性不銹鋼 | SUS 316L | ||
密封圈材質(zhì) | 金屬/橡膠 | |||
閥門類型 | NC;常閉 | NC,；常開 NO; 常開 | ||
適用的差壓范圍 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗壓能力 | 100KPa（g） | |||
產(chǎn)品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金屬密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡膠密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
數(shù)字式通訊協(xié)議 | RS-485 | |||