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HORIBA STEC SEC-N100系列產品應用
閱讀：1220 發(fā)布時間：2020-5-7
適用于多種不同的產業(yè)應用,?？蓪崿F大范圍控制從10SCCM至1000SLM,。此款MFC包含多種不同通訊方式（數字式/模擬式,， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®）,，高精度（± 1.0% S.P. *1）,，快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,，減少客戶成本,。
*1包括SEC-N177R
n目前的SEC-Z500X 系列產品主要使用于半導體制程, 而SEC-N100 作為它的重要補充，主要針對非芯片半導體制程而開發(fā),。
n同半導體制程一樣,，非芯片半導體工藝也已經形成相對統一的制造標準,， SEC-N100 系列產品能夠滿足廣大客戶對不同制程規(guī)范的要求。
