產品搜索：
郵編：215000
聯(lián)系人：張小姐
電話：0512-68780545
傳真：0512-68780546
手機：18015596013
留言：發(fā)送留言
個性化：www.zw117.com
手機站：m.zw117.com
網(wǎng)址：www.zw117.com
商鋪：http://sorrent.com.cn/st255123/
QQ交談韓國帕克原子力顯微鏡systems NX-Wafer介紹
點擊次數(shù)：2130 發(fā)布時間：2023-4-21
韓國帕克原子力顯微鏡systems NX-Wafer概述
Park Systems推出業(yè)內噪聲樶低的全自動化工業(yè)級原子力顯微鏡——XE-Wafer。該自動化原子力顯微鏡系統(tǒng)旨在為全天候生產線上的亞米級晶體（尺寸200 mm和300 mm）提供線上高分辨率表面粗糙度,、溝槽寬度,、深度和角度測量,。借助True Non-Contact™模式,，即便是在結構柔軟的樣品，例如光刻膠溝槽表面,，XE-Wafer可以實現(xiàn)無損測量,。
現(xiàn)有問題
目前，硬盤和半導體業(yè)的工藝工程師使用成本高昂的聚焦離子束(FIB)/掃瞄式電子顯微鏡(SEM)獲取納米級的表面粗糙度,、側壁角度和高度,。不幸的是,，F(xiàn)IB/SEM會破壞樣品,，且速度慢，成本高昂,。
解決方案
NX-Wafer原子力顯微鏡實現(xiàn)全自動化的在線200 mm & 300 mm晶體表面粗糙度,、深度和角度測量，且速度快,、精度高,、成本低。
益處
NX-Wafer讓無損線上成像成為可能,，并實現(xiàn)多位置的直接可重復高分辨率測量,。更高的精確度和線寬粗糙度監(jiān)控能力讓工藝工程師得以制造性能更高的儀器，且成本顯著低于FIB/SEM,。
串擾消除實現(xiàn)無偽影測量
· 解耦XY軸掃描系統(tǒng)提供平滑的掃描平臺
· 平滑的線性XY軸掃描將偽影從背景曲率中消除
· 精確的特征特亮和儀表統(tǒng)計功能
CD(臨界尺寸)測量
出眾的精確且精密納米測量在提高效率的同時,，也為重復性與再現(xiàn)性研究帶來最高的分辨率和樶低的儀表西格瑪值。
* 精密的納米測量
媒介和基體亞納米粗糙度測量
憑借行業(yè)樶低的噪聲和創(chuàng)新的True Non-ContactTM模式,，XE-Wafer在最平滑的媒介和基體樣品上實現(xiàn)樶精確的粗糙度測量,。
精確的角度測量
Z軸掃描正交性的高精度校正讓角度測量時精確度小于0.1度。
溝槽測量
True Non-Contact模式能夠線上無損測量小至45 nm的腐蝕細節(jié),。
精確的硅通孔化學機械研磨輪廓測量
借助低系統(tǒng)噪聲和平滑輪廓掃描功能,，Park Systems實現(xiàn)了前所WEI有的硅通孔化學機械研磨(TSV CMP)輪廓測量。
韓國帕克原子力顯微鏡systems NX-Wafer特點
★ 全自動圖形識別
借助強大的高分辨率數(shù)字CCD鏡頭和圖形識別軟件,，Park NX-Wafer讓全自動圖形識別和對準成為可能,。
★ 自動測量控制
自動化軟件讓NX-Wafer的操作不費吹灰之力。測量程序針對懸臂調諧,、掃描速率,、增益和點參數(shù)進行優(yōu)化，為您提供多位置分析,。
★ 真正非接觸模式和更長的探針使用壽命
得益于專li的高強度Z軸掃描系統(tǒng),，XE系列原子力顯微鏡讓真正非接觸模式成為可能。真正非接觸模式借助了原子間的相互吸引力,，而非相互排斥力,。
因此,，在真正非接觸模式下，探針與樣品間的距離可以保持在幾納米,，從而蓋上原子力顯微鏡的圖像質量,，保證探針尖duan的鋒利度，延長使用壽命,。
★ 解耦的柔性XY軸與Z軸掃描器
Z軸掃描器與XY軸掃描器完quan解耦,。XY軸掃描器在水平面移動樣品，而Z軸掃描器則在垂直方向移動探針,。該設置可實現(xiàn)平滑的XY軸測量,，讓平面外移動降到樶低。此外,，XY軸掃描的正交性和線性也極為出色,。
為了檢測最小的樣品特征和成像最平的表面，Park推出行業(yè)本底噪聲樶低（< 0.5?）的顯微鏡,。本底噪聲是在“零掃描"情況下確定的,。當懸臂與樣品表面接觸時，在如下情況下測量系統(tǒng)噪聲：
·0 nm x 0 nm掃描范圍,，停在一個點
·0.5增益,，接觸模式
·256 x 256像素