1、升華室主要包括有不銹鋼容器,，不銹鋼高溫閥,、壓力表、電熱合金絲發(fā)熱體,、質(zhì)子流量計,、熱電偶、溫控裝置和保溫系統(tǒng),。主要用于對前驅(qū)體的加熱升華和調(diào)控通入反應(yīng)室的氣體流量, 控溫溫度可以在100-700℃之間自由設(shè)定,，由K分度號熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實現(xiàn)升華室溫度的自動程序升降，控溫精度：±1℃,，升華室配置數(shù)量為2個,。

2、反應(yīng)室主要包括不銹鋼容器,、壓力表,、質(zhì)子流量計、電熱合金絲發(fā)熱體,、熱電偶,、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng),、保溫系統(tǒng),、載物臺?？販販囟瓤梢栽?00-900℃之間自由設(shè)定,，由K分度號熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實現(xiàn)反應(yīng)室溫度的自動程序升降，控溫精度：±1℃,，反應(yīng)室配置數(shù)量為1個,。

3、氣路系統(tǒng)采用∮6×1mm,，316L材質(zhì)不銹鋼管實現(xiàn)氣體的運輸,、氣體流量的精確控制、減壓閥的準(zhǔn)確快速切換以及廢氣的處理,。在氣體運輸過程中,，需要對管道進行加熱保溫處理,，防止混合氣體在運輸過程中發(fā)生冷凝，加熱系統(tǒng)由K分度號熱電偶+智能數(shù)顯控溫儀+電熱合金絲發(fā)熱體實現(xiàn)氣路管道的溫度控制,，控溫精度：±1℃,。

4、真空系統(tǒng)主要用于控制反應(yīng)室內(nèi)壓強,，保證化學(xué)氣相沉積反應(yīng)能在預(yù)定的壓強下進行實驗,，真空度：10Pa。

CVD化學(xué)氣相沉積

化學(xué)氣相沉積反應(yīng)裝置

CVD管式爐