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RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。
    儀器由主機(jī)、測試臺,、四探針探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,，亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果,。
    儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等特點(diǎn),。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技術(shù)參數(shù)：

測量范圍	電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),；電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm,；電阻：0.0001～2000Ω.cm；
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺),； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺),； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源	電流量程分為0.1mA,、1mA,、10mA、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV,；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ,；精度：±0.1% ,；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機(jī)械游移率：≤0.3%,；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力),；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行)	0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量zui大相對誤差	(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤5%
測試模式	可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配）	軟件可記錄,、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)zui大值,、zui小值、平均值、zui大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。
計(jì)算機(jī)通訊接口	并口，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃,；相對濕度：≤65%；無高頻干擾,；無強(qiáng)光直射,；

配置	四探針測試儀主機(jī)、S-2B型探針臺,、FT-201四探針探頭	13000/套
配置	四探針測試儀主機(jī),、S-2B型探針臺、FT-201四探針探頭,、測試軟件(含測控模塊)	17000/套
配置	四探針測試儀主機(jī),、S-2B型探針臺、FT-201四探針探頭,、臺式電腦	22000/套
備注	用戶可按實(shí)際需要選擇配置,，電腦可按用戶要求以市場價(jià)配置或自行購置安裝測試軟件即可

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