HTRS-1000高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀

HTRS-1000型高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,，該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進行設(shè)計開發(fā)，可以在高溫,、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線,。目前主要針對圓片,、方塊、長條等測試樣品進行測試,，可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅（si）,、鍺（ge）,化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb）,，三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl,、GaAsP，固溶體半導(dǎo)體,，如Ge-Si,、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量,。
一、主要技術(shù)參數(shù)：
溫度范圍：RT-1000℃
升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)
控溫精度：±0.5℃
電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境：惰性氣氛,、還原氣氛,、真空氣氛
測量方法：四線電阻法
測試通道：單通道
樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm
電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極
絕緣材料：99氧化鋁陶瓷
數(shù)據(jù)存儲格式：TXT文本格式
數(shù)據(jù)傳輸：USB
符合標(biāo)準(zhǔn)：ASTM
供電：220V±10%,，50Hz
工作溫度：5℃ + 40 ℃,；
存儲溫度：–40 ℃ +65 ℃
工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達 95%（無冷凝）
設(shè)備尺寸：400x450x580mm
重量：38kg