| 兩探針單晶硅多晶硅測(cè)試儀 型號(hào)：SHY-JGL1 | 貨號(hào)：ZH9060 |
| 產(chǎn)品簡介: 本儀器主于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,，以便硅材料的切割和加工,。 為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,，是計(jì)算機(jī)芯片,、內(nèi)存的發(fā)展,，越來越多的使用到了大直徑,、高度,、均勻度高的單晶硅材料,。目前，在美國,、德國等的工業(yè),，均采用了二探針法，使用二探針檢測(cè)儀來測(cè)量大直徑單晶硅的電阻率分布情況,。 本儀器美國ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測(cè)量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn),，是一種的半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀，適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法測(cè)量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,，從而進(jìn)一步判斷半導(dǎo)體材料的性能,，指導(dǎo)和監(jiān)視操作,，也可以用來測(cè)量金屬材料的電阻，儀器具有測(cè)量精度高,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便,、造型美觀等特點(diǎn),。也可以配四探針測(cè)試頭作常規(guī)的四探針法測(cè)量硅晶體材料。 儀器分為儀表電氣控制箱,、測(cè)試臺(tái),、探頭三部分，儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表,、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置,、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測(cè)量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,，零位穩(wěn)定,、輸入阻抗高，并設(shè)有自校功能,。在棒狀材料使用二探針法測(cè)試時(shí),，具有系數(shù)修正功能，從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),，可以直接讀出電阻率,，使用方便,。測(cè)試臺(tái)結(jié)構(gòu),，造型美觀，可以方便地固定好大小尺寸的樣品,，并可以作逐點(diǎn)選擇步進(jìn)測(cè)量,，也可以自由選擇固定位置測(cè)量，電活動(dòng)自如,，具備鎖定裝置,，方便重復(fù)測(cè)量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,，測(cè)試探頭能自動(dòng)升降,，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承,，具有測(cè)量精度高,、游移率小、耐磨,、使用壽命長特點(diǎn),。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整,，以適合不同的材料。 規(guī)格參數(shù)： 可測(cè)硅材料尺寸： 直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的要求,。 長度：100~1100mm. 測(cè)量方式：軸向測(cè)量,，每隔10mm測(cè)量一點(diǎn)。 測(cè)量電阻率范圍：10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm,。 數(shù)字電壓表： 量 程：0.2mV,、2mV、20mV,、200mV,、2V 測(cè)量誤差：±0.3%讀數(shù)±2字 輸入阻抗：0.2mV和2mV檔>106Ω 20mV檔及以上>108Ω 顯 示：31/2位LED數(shù)字顯示，范圍0~1999,。 恒 流 源： 電流輸出：直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào),。 量 程：10μA、100μA,、1mA,、10mA、100mA 電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字 二探針測(cè)試裝置： 探針間距：4.77mm 探針機(jī)械游移率：0.3% 探針壓力：0~2kg可調(diào) 測(cè)試探頭自動(dòng)升降 二探針測(cè)試臺(tái) 測(cè)試硅單長度：100-1100mm 測(cè)試點(diǎn)間距：10mm 測(cè)試臺(tái)有慢,、快二種移動(dòng)速度,，快速移動(dòng)速度為1000mm/分（均勻手動(dòng)） 電 源：交流220V±10%，50HZ±2HZ 消耗功率：<150W |  |
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