密封品氣密檢漏系統(tǒng) 型號：VUGYMSX5000 貨號：ZH1299 
 適用于小型SMD產(chǎn)品氣密性檢測,。壓氦、粗細檢檢測連程自動運行,。細檢漏使用高精度氦質譜檢測,，粗檢漏使用差壓對比法進行。
特長：
被測對象：3mm以下的SMD晶體
精度：大泄漏至1×10-9Pa?m3/sec
處理能力：VUGYMSX5000（6ch）2秒/個（合格品判定時）
          VUGYMSX5000（8ch）1.2秒/個（合格品判定時）
壓氦時間：60分鐘
放置時間：5分鐘（由被測物的內容積決定）
可以控制沖氦和保壓時間