多功能真空實(shí)驗(yàn)儀（設(shè)計(jì)性、綜合性實(shí)驗(yàn)） 型號(hào)：YQDH2010 貨號(hào)：ZH5500 
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
   實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái),，能夠很直觀反映真空獲得的過程,。由真空獲得部分、真空鍍膜和電控及儀表等部分組成,，結(jié)構(gòu)合理,，運(yùn)行，適合于對(duì)學(xué)生開展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué),。在2008年第五屆高等學(xué)校物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)研討會(huì)物理儀器評(píng)比中榮獲三等獎(jiǎng),。
可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)
1,、真空的獲得與測(cè)量,；
2、蒸發(fā)法薄膜制備 
主要特點(diǎn)
1,、設(shè)備的真空反應(yīng)室,、油擴(kuò)散泵、真空管路部件透明,；
2,、電氣控制有防護(hù)，防止誤操作對(duì)操作人員和設(shè)備造成的損傷,；
3,、管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合,，閥門為電控雙向截止閥,；真空室內(nèi)有烘烤除氣裝置；
4,、一機(jī)多用的功能,，針對(duì)高校開展綜合性、設(shè)計(jì)性和開放性實(shí)驗(yàn)的要求,預(yù)留有大空間的真空室,，在配置一些組件后,，就能方便開設(shè)其他擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目。
主要參數(shù)
1,、Ф230×255mm玻璃真空室,；
2、采用機(jī)械泵,、四玻璃質(zhì)油擴(kuò)散泵兩真空系統(tǒng),，擴(kuò)散泵油量125~140ml，需水冷,；
3,、真空度：開機(jī)60分鐘后可達(dá)5×10-3Pa，限真空度：9.6×10-4Pa,；恢復(fù)真空時(shí)間＜40分鐘,；
4、采用一對(duì)氧銅電蒸發(fā)電，電間距70mm,，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源,，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍：0～150A
5、襯底可加熱,，襯底加熱溫度范圍：室溫～200℃,；
6、工作電壓：AC220V±5%,，50Hz,；整機(jī)功率：3kW；
7,、工作環(huán)境要求：溫度低于30℃,，濕度≤70％；水循環(huán)用戶自備,。