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GDSKDY-1L型四探針電阻率測(cè)試儀是我公司嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的,,標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改進(jìn),。整套儀器有如下特點(diǎn)
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),,另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè),,過(guò)程中的電流變化,使操作%簡(jiǎn)便,,測(cè)量%,,,。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿(mǎn)度)
2,、可測(cè)電阻率范圍:0.00001 —1990Ω·cm。
可測(cè)方塊電阻范圍:0.0001—19000Ω/□,。
3,、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1,、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),,電壓表指零,1,、4探針接觸到硅片,,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表才指示2,、3探針間的電壓(即電阻率)值,,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4,、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(萬(wàn)分之五精度)的恒流源提供,,不受氣候條件的影響,,整機(jī)測(cè)量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA,。
5、儀器采用觸點(diǎn)電阻%低(<5mΩ),、使用壽命%長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10%),,在,緣電阻,、電流容量方面留有%大的,,系數(shù),提高了測(cè)試儀的,,性和使用壽命,。
6、可加配HQ-710E微處理機(jī)及打印機(jī),,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量,、求平均值,計(jì)算并打印電阻率,,值,、,值,、,,百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容,。
7,、可加配電腦,使用,,軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量,、存儲(chǔ),求平均值,,,值,、,值,、,,百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
8,、可配KDDJ-2電動(dòng)測(cè)試架,,自動(dòng)上下運(yùn)行,使測(cè)量%方便快捷,。
9,、四探針頭采用,上,,的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),,使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高
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